以作者查詢圖書館館藏 、以作者查詢臺灣博碩士 、以作者查詢全國書目 、勘誤回報 、線上人數:31 、訪客IP:18.119.133.138
姓名 陳建良(Chien-Liang Chen) 查詢紙本館藏 畢業系所 機械工程學系 論文名稱 結合微細放電與高頻抖動研磨之微孔加工研究
(Study of Microholes Machining Using Micro-EDM Combined with Dither Grinding)相關論文 檔案 [Endnote RIS 格式] [Bibtex 格式] [相關文章] [文章引用] [完整記錄] [館藏目錄] [檢視] [下載]
- 本電子論文使用權限為同意立即開放。
- 已達開放權限電子全文僅授權使用者為學術研究之目的,進行個人非營利性質之檢索、閱讀、列印。
- 請遵守中華民國著作權法之相關規定,切勿任意重製、散佈、改作、轉貼、播送,以免觸法。
摘要(中) 在金屬微孔加工中,微細放電加工法是可用來製造孔徑小於100μm微細孔的有效方法之一,但以微細放電加工法在金屬板上製作微細孔時,在孔洞的表面會形成再鑄層,微細孔表面容易產生微裂痕與放電坑,孔壁表面粗度不佳,嚴重影響微細孔的品質。
針對此一問題,本研究擬以高鎳合金為工件材料,利用本實驗室所建立起之微細放電加工系統為基礎,配合自行設計之高頻抖動機構,針對高鎳合金微細圓孔進行研磨加工,期能改善高鎳合金微細圓孔的孔壁表面品質,以符合精密的要求;另外,希望能找出此種加工方法的較佳加工參數,建立複合製程技術供產業界應用與參考。
由實驗結果顯示,採用高頻抖動研磨法加工微細圓孔孔壁表面可獲得顯著的研磨效果。與螺旋電極研磨法比較,在加工時間上可大幅地減少加工時間與加工成本,另外,以放電電流500mA加工後的微細圓孔為例,在輸入電壓40V、研磨時間約6 ~ 8分鐘,即可獲得孔壁表面平整光滑的微細圓孔。關鍵字(中) ★ 線放電研磨加工
★ 高頻抖動研磨
★ 高鎳合金
★ 微細放電加工
★ 微細圓孔關鍵字(英) ★ EDM
★ dither
★ high Ni alloy
★ hymu
★ micro electrical discharge machining
★ micro hole
★ WEDG論文目次 總 目 錄
摘要---------- Ⅰ
總目錄---------- Ⅱ
圖目錄---------- Ⅳ
表目錄---------- Ⅵ
第一章 緒論
1-1 前言---------- 1
1-2 研究動機與背景---------- 1
1-3 研究目的與方法 ---------- 4
第二章 基本原理介紹
2-1 放電加工基本原理----------6
2-2 放電加工的材料去除機制---------- 8
2-3 放電加工參數及其影響---------- 11
2-4 放電加工之特性---------- 16
2-5 線切割放電加工基本原理---------- 19
2-6 線切割放電加工之加工特性----------21
2-7線放電研磨加工法介紹---------- 23
第三章、實驗設備及方法
3-1 實驗設備----------25
3-2 高頻抖動研磨機構介紹----------33
3-3 實驗材料----------35
3-3-1 工件材料----------35
3-3-2 工具電極材料----------36
3-3-3 線電極材料----------37
3-3-4 去離子純水----------37
3-3-5 研磨液----------37
3-4 實驗方法----------38
3-5 實驗參數設定----------46
3-6 實驗流程----------48
第四章 結果與討論
4-1 高鎳合金板材的微細孔放電加工特性探討----------49
4-1-1 極間電壓對電極消耗長度的影響----------50
4-1-2 極間電壓對入出口直徑差的影響----------51
4-1-3 極間電壓對擴孔量的影響----------52
4-2 高頻抖動研磨法之加工特性探討----------55
4-2-1 螺旋電極研磨法與高頻抖動研磨法之比較----------55
4-2-2 電極形式對改善微細圓孔孔壁表面性質之影響----------59
4-2-3 不同放電電流對微細圓孔孔壁表面性質之改善----------62
4-2-4 抖動電壓對改善微細圓孔孔壁表面性質之影響----------65
4-2-5 研磨時間對改善微細圓孔孔壁表面性質之影響----------72
第五章 結論----------75
參考文獻----------76
圖 目 錄
圖2-1 放電加工示意圖----------7
圖2-2 放電加工的材料去除機制示意圖----------10
圖2-3 放電加工波形示意圖----------14
圖2-4 正極性放電加工示意圖----------15
圖2-5 負極性放電加工示意圖----------15
圖2-6 放電穿孔側邊加工擴孔現象----------17
圖2-7 不同表面粗糙度的測量方式----------18
圖2-8 線切割加工機構----------20
圖2-9 WEDG加工法----------23
圖2-10 柱狀電極放電成形法----------24
圖2-11 線切割放電加工法----------24
圖3-1 放電加工機----------25
圖3-2 線電極送線機構----------26
圖3-3 電極挾持旋轉機構----------27
圖3-4 電流調整箱----------28
圖3-5 電壓調整箱----------28
圖3-6 CCD顯微量測系統----------29
圖3-7 掃描式電子顯微鏡----------30
圖3-8 去離子水系統----------31
圖3-9 高頻抖動機構 ----------34
圖3-10 高頻抖動機構動作示意圖----------34
圖3-11 實驗設備示意圖----------38
圖3-12 修整工具電極之加工示意圖----------40
圖3-13 階梯式工具電極示意圖---------- 41
圖3-14 高鎳合金微細孔放電加工示意圖----------43
圖3-15 高頻抖動研磨加工示意圖----------45
圖3-16 實驗流程圖----------48
圖4-1 極間電壓對電極消耗長度的影響----------51
圖4-2 極間電壓對入出口直徑差的影響----------52
圖4-3 極間電壓對擴孔量的影響----------53
圖4-4 極間間隙對放電加工面影響示意圖----------54
圖4-5 螺旋電極研磨法與高頻抖動研磨法之加工示意圖----------56
圖4-6 螺旋電極研磨法與高頻抖動研磨法之SEM比較圖----------58
圖4-7 單段式電極對微細圓孔孔壁表面改善之SEM圖----------61
圖4-8 不同放電電流放電加工後微細圓孔孔壁表面SEM圖----------63
圖4-9 高頻抖動研磨加工不同放電能量微細圓孔後之孔壁表面,加工時間15分----------64
圖4-10 放電電流100mA,抖動電壓40V與70V之入口端SEM 圖----------65
圖4-11 放電電流100mA之微細圓孔在不同抖動電壓下孔壁表面改善之SEM圖----------67
圖4-12 放電電流200mA之微細圓孔在不同抖動電壓下孔壁表面改善之SEM 圖----------69
圖4-13 放電電流500mA之微細圓孔在不同抖動電壓下孔壁表面改善之SEM 圖----------71
圖4-14 放電電流500mA、抖動電壓40V,不同加工時間下SEM圖----------74
表 目 錄
表1-1 微孔加工技術一覽表----------2
表3-1 放電加工機參數規格----------26
表3-2 壓電陶瓷片之材料性質----------33
表3-3 高鎳合金之成分與機械物理性質----------35
表3-4 碳化鎢之成分與機械物理性質----------36
表3-5 七三黃銅線之機械性質----------37
表3-6 高鎳合金微細孔放電加工參數----------46
表3-7 高頻抖動加工參數----------47
表4-1 螺旋電極研磨法與高頻抖動研磨法之加工參數----------57
表4-2 高頻抖動研磨加工參數----------63參考文獻 1. Bryzek,J. “Impact of MEMS technology on society ” Sensors and Actuators A:Physical, Vol.56, Issue 1-2, pp.1-9, 1996
2. 孔慶華 編著,”特種加工”,同濟大學出版社
3. Seong.S.Choi , Jung , D.W.Kim , M.A.Yakshin , J.Y.Park , Y.Kuk , “Frabrication and microelectron gun arrays using laser micromachining” , Microelectronic Engineering , 41/42 ,pp167-170, 1998.
4. D. M. Allen, A. Lecheheb ,”Micro electro-doscharge machining of ink jet nozzles : optimum selection of material and machining parameters” , Journal of Materials Processing Technology , 58 , pp53-66 , 1996.
5. T, Masuzawa, J. Tsukamoto and M. Fujino;I.I.S., “Drilling of Deep Microholes by EDM” , Annals of the CIRP , 38 , 1 , pp.195-198, 1989.
6. T, Masuzawa , M. Fujino , K. Kobayashi and T.Suzuki, “Wire Electro-Discharge Grinding for Micro-Machining “ , Annals of the CIRP, 34 , 1 , pp.431-434 ,1985.
7. K.Kagaya , Y.Oishi,K.Yada , “Micro-electrodischarge machining Using Water as a working Fluid-2: Narrow Slit Fabrication “, Precision Engineering , 12 , 4 , pp.213-217 , 1990.
8. Xi-Qing Sun , T.Masuzawa , M.Fjino ,” Micro ultrasonic machining and its applications in MEMS”, Sensors and actuators, A57 , pp159-164 , 1996.
9. W. Ehrfeld and H. Lehr ,” Deep X-Ray Lithography for the production of three-dimensional microstructures from metals, polymers and ceramics “ , Radiat .Phys.Chem Vol.45 No.3 pp349-365 , 1995.
10. Domoiniek Reynaerts , Paul-Henri’s Heeren , Hendrik Van Brussel , “Microstructuring of silicon by elelctro - discharge machining(EDM) Part I : theory “, Sensors and actuators , A60 , pp212-218 , 1997.
11. L. Kuo and T. Masuzawa ,” A Micro-Pipe Fabrication Process”, Proc. Of IEEE MEMS’91 , pp.80-85 , 1991
12. A.C.Wang, B.H.Yan, X.T.Li, F.Y.Huang, Use of micro ultrasonic vibration lapping to enhance the precision of microholes drilled by micro electro-discharge machining, International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol.42, pp. 915-923, 2002.
13. C.T.Yang, S.S.Ho and B.H.Yan, Micro Hole Machining of Borosilicate Glass through Electrochemical Discharge Machining, Key Engineering Materials, Vol.196, pp.149-166, 2001.
14. T.Masuzawa, M.Yamamoto and M.Fujino, “A Micropunching System Using Wire-EDM”, Proc. Of Int’l Symposium for Electromachining(ISME-9), pp.86-89, 1989.
15. T. Masuzawa , “An Approach to Micromachining through Machine Tool Technology” , Annals of the CIRP, 34 , 1 , pp.419-425,1985.
16. 黃孟祥 著,”磁氣研磨法於微細電極表面拋光技術之研究”,國立雲林科技大學論文,民國89年。
17. 倉藤尚雄、鳳誠三郎著,鄒大鈞譯,“放電加工”,復漢出版社。
18. 蘇品書編著,“線切割放電加工”,復漢出版社。
19. 李東山著,“臥式微小放電加工機之開發與10μm以下微細電極加工之研究”,國立雲林科技大學碩士論文,民國88年。
20. 施瑞堯著,“旋轉式線電極之線切割加工性研究”,國立中央大學碩士論文,民國90年。
21. 邱寬和著, ”高鎳合金微細放電加工之特性研究” ,國立中央大學碩士論文,民國91年。
22. 楊景棠著,“微細極開發與微細深孔放電加工之研究”,國立中央大學碩士論文,民國85年。
23. 劉晉春、趙家齊 主編,”特種加工”,哈爾濱工業大學
24. 張志雄著,“以純水為放電加工液之微細放電加工研究”,國立中央大學碩士論文,民國83年。
25. 余承業 等著,”特種加工新技術”,北京,國防工業出版社指導教授 顏炳華、黃豐元
(Biing-Hwa Yan、Fuang-Yuan Huang)審核日期 2003-7-2 推文 facebook plurk twitter funp google live udn HD myshare reddit netvibes friend youpush delicious baidu 網路書籤 Google bookmarks del.icio.us hemidemi myshare