三維導電結構與振動式發電機之研製

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士

、以作者查詢全國書目

、勘誤回報

、線上人數：27

、訪客IP：3.137.185.180

姓名

馮耀鋆(Yao-Yun Feng) 查詢紙本館藏

畢業系所

光機電工程研究所

論文名稱

三維導電結構與振動式發電機之研製

相關論文

★ 雙頻帶微型電磁式發電機之研製	★ 經驗模態分解法之清醒與麻醉情形下的腦波特徵判別
★ CMOS-MEMS電容式加速度計之設計與製作	★ 銅電鍍製程於微小結構製作之應用
★ 平面雙軸式磁通閘之分析與應用	★ 低頻振動能量擷取器之設計
★ 聲波聚焦噴墨搭配菲涅爾透鏡之設計	★ 微粒子於溶液中操控之模擬
★ 應用希爾伯特黃轉換以C語言環境開發腦機介面訊號處理	★ 平面雙軸式磁通閘之製作與改良
★ 單一自由度微型電熱鑷子之設計與分析	★ 加工液濁度檢測器之設計
★ Underwater Position Control of Particles	★ 立體微型振動發電機之研製
★ 三維導電微成型技術開發應用於微機電系統之研究	★ 用於電火花加工的油質感測器

檔案

[Endnote RIS 格式]

[Bibtex 格式]

[相關文章]

[文章引用]

[完整記錄]

[館藏目錄]

至系統瀏覽論文 ( 永不開放)

摘要(中)

近年來由於微機電製程發展迅速，但若要利用微機電製程製作出三維的立體元件，因步驟過於繁瑣複雜且自由度較低，所以三維立體元件在微機電製程製作上有一定的困難度，因此本論文利用三軸移動系統的平台並搭配導電材料進行開發，製作出微型電磁式發電機，進而達到本論文研究之目的。
本論文目前利用具有導電特性的銀膠，但依銀膠的特性，以現有的系統無法實現，因此在三軸位移平台上安裝加熱盤與CCD檢測系統，因元件尺寸在微米範圍中，因此加工頭尺寸、高度、壓力與速度將直接影響加工後元件的大小，此外，因預計成型的元件約在微米等級，所以馬達移動的精密度、成型的路徑規劃與材料特性匹配也在本論文的研究中，最後再利用論文中所設計的微電壓被動式升壓電路，將元件所發出的電加以利用，若本論文所提出的方法能實現，相信應用在微機電製程中會是項很有貢獻的研究與方法。
目前本論文利用點膠機搭配導電材料，在懸臂樑上設計並製造出不同的導電結構，透過振動使元件發電，而後將其電能作升壓的動作；目前經由線寬點膠測試結果歸納得到，利用32G規格的不銹鋼針頭，搭配黏滯係數約2652cps的銀膠，可點出線寬約190um的直線與圖案，將其參數點在雲母片與矽晶圓上進行元件之製作，再透過振動器(shaker)模擬振動環境進行發電，當元件在10匝，與磁鐵間距約為1.5mm的情況下，振動發電在加速度2.4g下可產生3.16mV的電壓，元件功率為0.1uW，預期後續將其接在變壓器上，達到被動式升壓電路的最低工作輸入電壓，並將其電壓升至2.7~5V可調，而後進行儲能或其它應用。

摘要(英)

In this paper, a micro electromagnetic energy harvester capturing mechanical vibrational energy from environmental activities is proposed. The harvester is built on a cantilever microstructure, on which a coil locates. Through the Faraday′s law of induction, the coil generates alternating electrical power with vibration. A 3-axis dispenser is used to form the coil with conductive ink and insulating materials. The parameters of the dispenser including needle size, pressure, temperature, speed and material property are controlled for appropriate shape and size of the coil. The energy harvester is aimed to generate power in the low frequency range, which is below 500 Hz. Experimental measurement is performed on a shaker, which is controlled by a function generator. To store the power for future use, a passive step-up charging circuit, including a transformer, a rectifier and a step-up circuit, is utilized to convert ac power into dc power.

關鍵字(中)

★ 點膠機
★ 導電銀膠
★ 三維微米導電結構
★ 被動式微壓升壓電路

關鍵字(英)

論文目次

摘要 i
Abstract iii
誌謝 iv
目錄 v
圖目錄 viii
表目錄 xi
第1章緒論 1
1.1 前言 1
1.2 研究動機與目的 1
1.3 環境振動發電背景 2
1.4 文獻回顧 3
1.5 本文架構 9
第2章基礎理論 10
2.1 電磁發電原理 10
2.2 共振頻率 11
2.3 表面張力 12
第3章實驗設備與參數設定 14
3.1 設備介紹 15
3.1.1三軸移動點膠平台 15
3.1.2壓力控制氣 16
3.1.3點膠針頭 18
3.1.4加熱系統 20
3.1.5 CCD攝影機 21
3.1.6銀膠 22
3.1.7基材 22
3.2 製程步驟 22
3.2.1單層螺旋圓形點膠步驟 22
3.2.2單層螺旋方形點膠步驟 23
3.2.3雙層螺旋圓形點膠步驟 24
3.3 點膠參數設定 27
3.3.1針頭大小 27
3.3.2針頭與基材的高度 27
3.3.3針頭移動速度 28
3.3.4壓力大小 29
3.3.5前端針頭結構 29
第4章點膠結果與分析 30
4.1 點膠基材的選用 30
4.2 點膠膠材的選用 30
4.2.1導電膠材 30
4.2.2絕緣膠材 31
4.3 點膠針頭選用 31
4.4 點膠線寬參數設定結果 32
4.5 點膠元件製作結果 35
4.6 點膠實驗結果 42
第5章升壓電路與訊號放大研製 43
5.1元件發電訊號量測架構 43
5.1.1訊號放大濾波器介紹 45
5.1.2電源供應器 46
5.1.3訊號放大電路 48
5.1.4二階主動濾波電路 49
5.2元件發電升壓架構 51
5.2.1 變壓器 52
5.2.2 整流電路 52
5.2.3 濾波電路 53
5.2.4 被動式升壓電路 53
第6章元件發電量測與分析 55
6.1 方形元件發電量測 55
6.1.1共振頻量測(方形) 55
6.1.2不同檔位相同振福的發電量(方形) 56
6.2 圓形元件發電量測 61
6.2.1共振頻量測(圓形) 61
6.2.2不同檔位相同振福的發電量(圓形) 63
6.3 不同加速度下的元件發電量 67
6.4磁鐵擺放位置對元件的發電量 70
第7章結論與未來展望 76
7.1 結論 76
7.2 未來展望 77
參考文獻 78
附錄A 檢測加工儀器設備 81
附錄B 研究使用IC Datasheet 83

參考文獻

[1]G. T. A. Kovacs, Micromachined Transducers, McGraw-Hill, New York, 1998.
[2]L. Mateu and F. Moll, “Review of energy harvesting techniques and applications for microelectronics,” Proc. SPIE, 5837, pp. 359-373, 2005.
[3]P.B. Koeneman, I.J. Busch-Vishniac, and K.L. Wood, “Feasibility of micro power supplies for MEMS,” Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6, pp. 355-362, 1997.
[4]吳嘉殷，雙頻帶微型電磁式發電機，國立中央大學機械研究所，2013。
[5]G. De Pasquale, and A. Soma, “Investigations on energy scavenging methods using MEMS devices,” International Semiconductor Conference, Sinaia, Romania, pp. 163-166, 2008.
[6]S. Roundy, E.S. Leland, J. Baker, E. Carleton, E. Reilly, E. Lai, B. Otis, J.M. Rabaey, P.K. Wright, and V. Sundararajan, “Improving power output for vibration-based energy scaven-gers,” IEEE Pervasive Comput, pp. 28-36, 2005.
[7]S. Meninger J. Mur-Miranda R. Amirtharajah, A. Chandrakasan, and J. Lang, “Vibration-to-electric Conversion,” Proceedings of 1999 International Symposium on Low Electronics and Design, pp. 48-53, 1999.
[8]林奕寬，三維微結構製程技術研究，國立成功大學機械研究所，2004。
[9]C.B. Williams, and R.B. Yates, “Analysis of a micro-electric generator for microsystems,” Sensors and Actuators A: Physical, vol.52, iss. 1-3, pp. 8-11, 1996.
[10]S.P. Beeby, M.J. Tudor, E. Koukharenko, N.M. White, T. O′Donnell, C. Saha, S. Kulkarni, and S. Roy, “Micromachined Silicon Generator for Harvesting Power from Vibrations,” In Proceedings of The 4th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2004), Kyoto, Japan, pp. 104-107, 2004.
[11]I. Sari, T. Baikan, H. Kulah, “An electromagnetic micro power generator for wideband environmental vibrations,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 145-146, pp. 405-413, 2008.
[12]H. Külah, and K. Najafi, “Energy Scavenging From Low-Frequency Vibrations by Using Frequency Up-Conversion for Wireless Sensor Applications,” Journal of IEEE Sensors, vol. 8, pp. 261-268, 2008.
[13]I. Sari, T. Balkan, and H. Kulah, “An Electromagnetic Micro Power Generator for Low Frequency Environmental Vibrations based on the Frequency Up-Conversion Technique,” MEMS 2009, pp. 1075-1078, 2009.
[14]Q. Zhang, S.J. Chen, L. Baumgartel, A. Lin, and E.S. Kim, “Microelectromagnetic energy harvester with integrated magnets,” Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, pp. 1657-1660, 2011.
[15]Y. Quan, S. Xuming, F. Dong-Ming, and Z. Haixia, “Design and microfabrication of integrated magnetic MEMS energy harvester for low frequency application,” Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, pp. 1855-1858, 2011.
[16]D.P. Arnold, “Review of Microscale Magnetic Power Generation,” IEEE Trans. Magnetics, Vol. 43, pp.3940-3951, Nov. 2007.
[17]University Of Connecticut, UCONN ANSYS – Module 10: Free Vibration of an Undampened 1D Cantilever Beam.
[18]http://www.engr.uconn.edu/~cassenti/AnsysTutorial/Modules_APDL/Module%2010_Vibrations.pdf
[19]宋柏融，奈米碳管於準直矽奈米草上成長之研究，國立中央大學化學工程與材料工程學系，2008。
[20]Li Jianping, and Deng Guiling, “Technology development and basic theory study of fluid dispensing-a review,” Proceeding of HDP, Shanghai、China, July 2, pp. 198-205, 2004.
[21]日商武藏高科技(股)公司台灣分公司型錄。
[22]王瑞，時間/點膠型壓力技術影響因素分析，江南大學，2008。
[23]林圳盛，利用紫外線硬化樹脂作微結構之探討及應用，國立雲林科技大學機械工程所，2005。
[24]郭永昇，應用陣列點膠於導光板模仁之製作及動態變模溫系統對精密射出成形導光板之研究，國立雲林科技大學機械工程所，2005。
[25]http://www.dianzivip.com/view/3410/

指導教授

陳世叡

審核日期

2014-7-18

推文