以模擬退火法推算薄膜之光學常數

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士

、以作者查詢全國書目

、勘誤回報

、線上人數：34

、訪客IP：18.117.186.92

姓名

蕭家鼎(Chia-Ting Hsiao) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

以模擬退火法推算薄膜之光學常數

相關論文

★ 半導體雷射控制頻率	★ 比較全反射受挫法與反射式干涉光譜法在生物感測上之應用
★ 193nm深紫外光學薄膜之研究	★ 超晶格結構之硬膜研究
★ 交錯傾斜微結構薄膜在深紫外光區之研究	★ 膜堆光學導納量測儀
★ 紅外光學薄膜之研究	★ 成對表面電漿波生物感知器應用在去氧核糖核酸及微型核糖核酸雜交反應檢測
★ 成對表面電漿波生物感測器之研究及其在生醫上的應用	★ 探討硫化鎘緩衝層之離子擴散處理對CIGS薄膜元件效率影響
★ 以反應性射頻磁控濺鍍搭配HMDSO電漿聚合鍍製氧化矽摻碳薄膜阻障層之研究	★ 掃描式白光干涉儀應用在量測薄膜之光學常數
★ 量子點窄帶濾光片	★ 以量測反射係術探測光學薄膜之特性
★ 嵌入式繼光鏡顯微超頻譜影像系統應用在口腔癌切片及活體之設計及研究	★ 軟性電子阻水氣膜之有機層組成研究

檔案

[Endnote RIS 格式]

[Bibtex 格式]

[相關文章]

[文章引用]

[完整記錄]

[館藏目錄]

[檢視]

[下載]

本電子論文使用權限為同意立即開放。
已達開放權限電子全文僅授權使用者為學術研究之目的，進行個人非營利性質之檢索、閱讀、列印。
請遵守中華民國著作權法之相關規定，切勿任意重製、散佈、改作、轉貼、播送，以免觸法。

摘要(中)

由於在光學鍍膜中，量測或了解所製鍍膜層之光學常數為一個重要的問題。在多層膜方面，橢圓偏振法為常利用於推算光學常數的方法，但因橢圓偏振儀價格昂貴以及操作及分析困難，故本文利用光譜儀所量測到之穿透光譜，及搭配上演算法之模擬退火法，能成功的推算出已知精確折射率以及精確消光係數之多層膜的各層厚度值，及能推算未知折射率(不包含色散)之粗略折射率以及粗略厚度値。
本文採用C++ Builder 5.0程式語言作為程式開發之工具並且完成人性化介面之程式，在輸入所知之光學常數初始値之後，能簡易的得到欲求之光學常數值。

關鍵字(中)

★ 薄膜
★ 模擬退火法
★ 光學常數

關鍵字(英)

論文目次

摘要 I
致謝 II
目錄 III
圖目錄 IX
表目錄 XI
第二章多層膜之光學常數 4
2-1基本理論 4
2-2垂直入射單界面的穿透與反射 8
2-3單層膜的穿透率與反射率 10
2-4多層膜的穿透率與反射率 14
第三章模擬退火法 15
3-1退火的物理過程 15
3-2 Metropolis演算法 18
3-3 模擬退火法 19
第四章以模擬退火法推算多層膜之光學常數 21
4-1 評比函數 22
4-2 模擬退火法計算多層膜之光學常數 23
第五章實驗與誤差分析 26
5-1未知光學常數求膜厚之AR實例 26
5-2已知光學常數求膜厚之AR實例 30
5-3已知光學常數求膜厚之Edge-Filter實例 39
第六章結論 44
參考文獻 45

參考文獻

[1]Azzam R.M. Am, and N.M. Bashara, ”Ellipsometry and polarized light”, North-Holland publishing Company, Netherlands,(1977)
[2]李正中,薄膜光學與鍍膜技術第四版,藝軒圖書出版社, 台北,385-396(2004)
[3]R T Phillips, “A numerical method for determining the complex refractive index from reflectance and transmittance of supported thin films,” J. Phys. D: Appl. Phys., 16 , pp. 489-497 (1983)
[4]R E DENTON, R D CAMPBELL and S G TOMLIN, “The determination of the optical constants of thin films from measurements of reflectance and transmittance at normal incidence,” J. Phys. D: Appl. Phys., 5 , pp. 852-863 (1972)
[5]J. C. Manifacier, J. Gasiot and J. P. Fillard, “A simple method for determination of the optical constant n , k and the thickness of weekly absorbing thin films ,” J. Phy. E. Sci., 9, pp.1002-1004 (1976)
[6]何聰慧, “光學薄膜常數之計算”,國立中央大學光電所碩士論文，,(2002)
[7]Kirkpatrick, S.,Gelatt, C. D., and Vecchi, M. P., “Optimization by simulated annealing,” Science, 200 , pp. 671-680 (1983)
[8]Kirkpatrick, “Optimization by Simulated Annealing: Quantitative Studies,”S. Journal of Statistical Physics, 34, pp. 975–986 (1984)
[9]Acton, F.S., Numerical Methods That Work; corrected edition , Washington: Mathematical Association of America, pp. 55; 454–458(1990)
[10]Holland, J.H., Adaptation in Natural and Artificial Systems. University of Michigan Press, Ann Arbor.Mich,(1975)
[11] N Metropolis, M Rosenbluth, M Rosenbluth, A Teller, and E Teller.” Equation of state calculations for fast computing machines,” Journal of Chemical Physics, 6 , pp. 1087-1092(1953)
[12]W. Press, S. Teukolsky, T. Vetterling, B. Flannery, ”Numerical Recipes in C: The Art of Scientific Computing”, 2nd Edition, Cambridge University Press, New York, (1992)
[13] Knuth, D.E., ”Seminumerical Algorithms” , 2nd Edition, vol. 2 of The Art of Computer Programming, Reading, MA: Addison-Wesley, 3.2–3.3. (1981)
[14]J. A. Dobrowolski, F. C. Ho, A. Belkind, and V. A. Koss, “Merit functions for more effective thin film calculations,” Applied Optics,28(14), pp. 2824-2831 (1989)
[15]J. A. Dobrowolski and R. A. Kemp, “Refinement of optical multilayer systems with different optimization procedures,” Applied Optics, 29(19), pp. 2876-2893 (1990)

指導教授

李正中(Cheng-Chung Lee)

審核日期

2006-1-24

推文