以透明MFI沸石製作抗反射膜

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姓名

陳科良(Kol-Liang Chen) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

以透明MFI沸石製作抗反射膜
(Preparation of Anti-Reflection Film with Transparent MFI Zeolite)

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摘要(中)

未經鍍膜處理的光學系統，因界面反射的緣故，致最後的穿透光所剩不多，為了克服這種可謂黯淡無光的問題，於是需要抗反射膜（Anti-Reflection Coating），經過ARC處理的光學系統，不但可以提高穿透率，同時也大大減少光在元件間連續反射的量，使影像明晰度增加。
　　本論文以溶膠凝膠法製做具有MFI結構的純二氧化矽沸石溶膠（Silicalite-1），再以旋轉塗佈鍍膜機在光學玻璃基板上鍍製單層膜，由於此膜的多孔結構，可以具有比一般二氧化矽材料還要低的折射率，可以用來製作抗反射膜。
我們改變不同的實驗參數，來製作對應不同中心波長的抗反射膜，並以掃描式電子顯微鏡觀察其表面結構、以接觸角儀測量其親水性程度，並加以分析比較。

摘要(英)

Since the reflection of the boundary , the transparency of the optical system that not been coated will lower . In order to solve the problem , we need ARC（Anti-Reflection Coating）. The optical system that been coated with Anti-Reflection film not only can enhance the transparency but also can reduce the consecutive reflection between optical devices , it can make the image clearer .
　　In this master thesis , we manufacture Silicalite-1 sol which has MFI structure of zeolite through Sol-Gel method . We can get a single layer thin film coated on optical glass substrate by operating spin-coater . Due to the microporous structure of the film , its refractive index will lower than normal silicate film without porous structure , and therefore we can make anti-reflection films that have higher transparency .
　　We manufacture anti-reflection films corresponding different central wavelength by altering experiment , then observe surface structure with field emission scanning electron microscope , gauge the character of hydrophile with contact amgle instrument.

關鍵字(中)

★ 抗反射膜
★ 沸石
★ 溶膠凝膠法
★ 酸蝕法

關鍵字(英)

★ Zeolite
★ Sol-Gel Process
★ Acid Erosion
★ Anti-Reflection Film

論文目次

英文摘要………………………………………………………………I
中文摘要………………………………………………………………II
致謝辭…………………………………………………………………III
圖目錄…………………………………………………………………VII
表目錄…………………………………………………………………XI
第一章緒論 …………………………………………………………1
1-1前言 ……………………………………………………………2
1-2沸石簡介 ………………………………………………………3
1-3 MFI沸石 ………………………………………………………5
第二章　基本理論……………………………………………………7
2-1抗反射膜 ………………………………………………………7
　2-2酸蝕法………………………………………………………….10
　2-3旋轉塗佈法……………………………………………………..11
2-4溶膠凝膠法…………………………………………………….12
第三章　沸石膜製作方法文獻回顧…………………………………13
3-1沸石膜之製作方法與相關文獻………………………………..13
3-2直接含浸水熱法……………………………………………….14
　3-3 二次成長法……………………………………………………17
3-4 氣相轉化法……………………………………………………21
3-5 研究方向………………………………………………………23
第四章實驗結果與討論 …………………………………………24
4-1 MFI沸石前趨物溶膠之製備…………………………………24
4-2基材處裡及鍍膜流程…………………………………………26
4-3以掃描式電子顯微鏡分析MFI沸石膜性質…………………28
4-3-1 煅燒後的SEM圖 ………………………………………30
4-3-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的SEM圖 ………………………34
4-3-2-1 轉速對沸石膜的影響………………………………35
4-3-2-2 浸泡濃度對沸石膜的影響…………………………45
　　4-3-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對沸石膜的影響…49
4-4 以接觸角儀分析MFI沸石膜性質 …………………………54
4-4-1 剛以Spin Coater旋鍍溶膠溶液後的接觸角 …………57
4-4-2 浸泡稀鹽酸酒精溶液正面的接觸角比較 ……………59
4-4-2-1 轉速對接觸角的影響 ……………………………59
4-4-2-2 浸泡濃度對接觸角的影響 ………………………60
　　4-4-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對接觸角的影響...61
4-4-3 浸泡稀鹽酸酒精溶液背面的接觸角比較……………62
4-5 以光譜儀分析MFI沸石膜性質……………………………64
　 4-5-1 煅燒的穿透光譜圖比較……………………………… 65
4-5-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的穿透光譜圖比較……………75
4-5-2-1 轉速對穿透光譜的比較…………………………76
4-5-2-2 改變浸泡濃度、浸泡時間的穿透光譜圖比較…79
第五章　結論………………………………………………………83
參考資料……………………………………………………………85

參考文獻

[1] MARK E. DAVIS , Nature 417 , 813-821 (20 June 2002) .
[2] IZA Structure Commission , Org
[3] Lesley Smart and Elaine Moore, 1st ed. 1992, chap. 5.
[4] 蔡澄賢, 國立中央大學化學工程研究所博士論文 (1998).
[5] Specialty Coating System , Inc
[6] 莊允中, 3C產業之鍍膜技術與應用市場分析 , ITIS 經濟部技術產業技術知識服務計畫 (15 December 2001)
[7] 李正中,"光學薄膜與國防科技",光訊, 第二十八期, (1991), pp. 36-38.
[8] 許哲豪, 國立中央大學化學工程與材料工程學研究所碩士論文 (2004)
[9] 劉家銘, 國立中央大學化學工程與材料工程學研究所碩士論文 (2003)
[10] Svetlana Mintova, Shangyi Mo, and Thomas Bein, Chem. Mater. 13 (2001) 901-905.
[11]J.coronas, J. Santamaria, Sep. Purif. Meth. 28 (1999) 127
[12]Zhengbao Wang, Yushan Yan, Microporous and Mesoporous Materials 48 (2001)229-238.
[13] Lovallo M. C. and M. Taspatsis, Chemical Materials 8 (1996) 1579-1583.
[14]S. Mintova, V. Valtchev, V. Engstrom, B.J. Schoeman, J. Sterte, Microporous Materials 11 (1997) 149-160.
[15] Jonas Hedlund, Svetlana Mintova 1, Johan Sterte, Microporous and Mesoporous Materials 28 ( 1999) 185–194.
[16] V. Valtchev, S. Mintova, Microporous and Mesoporos Materials 43 (2001) 41-49.
[17] Maria Pilar Bernal, George Xomeritakis, Michael Tsapatsis, Catalysis Today 67 (2001) 101-107.
[18] W. Xu, J. Dong, J. Li, W. Li, F. Wu, J. Chem. Soc., Chem.Commun.(1990) 755.
[19] M. Matsukata, N. Nishiyama, K. Ueyama, J. Chem. Soc., Chem. Commun. (1994) 339.
[20] J. Dong, T. Dou, X. Zhao, L. Gao, J. Chem. Soc., Chem. Commun. (1992) 1056.
[21] J. Dong, E. A. Payzant, M.Z.C.Hu, D. W. Depaoli, JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE 38 (2003) 979–985.
[22] A.M.Doyle, G.Rupprechter, N.Pfander, R.Schlogl, C.E.A.Kischhock,
[23] 陳鏡全, 國立中央大學化學工程研究所碩士論文 (2001).
[24] 中華民國品質學會第 40 屆年會高雄市分會第 30 屆年會暨第 10 屆全國品質管理研討會論文集，C1-2，11∼22 頁。
[25] 趙丞琛，界面基礎科學，第46 頁，成功大學，臺南，1983。
[26] 趙丞琛，界面活性劑化學，第10 頁，成功大學，臺南，1984。
[27] 張天勝，表面活性劑應用技術，化學工業出版社-精細化工出版中心，第445 頁，北京，2001。
[28] T. Young, Philos. Trans. R. Soc. London 95, 1805.
[29] D. Meyerhofer, J. Appl. Phys., 49, 3993-3997 (1978)
[30] Larson R.G. and T.J. Rehy, Spin Coating, eds. by S.F. Kistler and P.M. Schweizer, Liquid Film Coating, Chap.14, Chapman & Hall, 1997
[31]李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”,p39,藝軒圖書出版社,第三版

指導教授

蔣孝澈、李正中
(A.S.T.Chiang、Cheng-Chung Lee)

審核日期

2006-7-18

推文