微熱點與微溫度感測器製作; Micro Hot Spot and Micro Temperature Sensor Manufacturing Process.

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Title:	微熱點與微溫度感測器製作;Micro Hot Spot and Micro Temperature Sensor Manufacturing Process.
Authors:	黃忠賢;Chung-Hsien Huang
Contributors:	機械工程研究所
Keywords:	微機電系統;微系統;微機電;micro system;microelectromechanical systems;MEMS
Date:	2003-06-26
Issue Date:	2009-09-21 11:43:59 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	微小化是現今微光機電系統的趨勢，然而隨著尺寸越來越小，其散熱之問題亦相形重要之。本實驗室已完成微液滴主動冷卻微熱點的方式，即利用冷卻介質之相變化，直接帶走微熱點上的熱而達到冷卻的目的，以期能應用在高效能的微小光機電元件之冷卻上。本實驗即是接續積體化的步驟，利用微機電的技術製作微感測器以及微熱點，本實驗以鉑作為加熱以及溫度感測的材料，因為鉑的電阻-溫度曲線幾乎為線性，且具有穩定不易氧化的金屬特性。實驗之結果顯示以微機電系統技術所製作出來的微感測器，確實可以達到溫度感測與微熱點模擬的功用，並且在製程上所做的結構改進，亦可確實的達到補強的作用。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Mechanical Engineering] Electronic Thesis & Dissertation

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