柴式法生長鈮酸鋰塊晶之研究分析; Lithium Noibate crystal growth by the Czochralski method

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題名:	柴式法生長鈮酸鋰塊晶之研究分析;Lithium Noibate crystal growth by the Czochralski method
作者:	陳智勇;Chih-Yung Chen
貢獻者:	機械工程研究所
關鍵詞:	鈮酸鋰;晶體生長;柴式法;Czochralski;Lithium Niobate;crystal growth
日期:	2004-07-06
上傳時間:	2009-09-21 11:46:13 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	摘要柴式單晶生長法是目前生長塊狀單晶最快速、最經濟且大尺寸的單晶生長法之一，也是光電及半導體產業最常使用的單晶生長法。而鈮酸鋰晶體也是目前光電晶體中最常使用的光電材料之一，已有多年的研究歷史。本實驗設計一套柴式生長爐生長塊狀氧化物單晶，我們選擇以鈮酸鋰為題，來達成柴式系統生長品質佳且等直徑之氧化物晶體，為實驗的目標。研究過程中，我們使用Femlab軟體及實驗量測來分析高溫爐體內部的熱流場特性；在晶體生長的過程中，我們利用坩堝上推的機制抑制熔湯液面的溫度擾動，以及坩堝稱重裝置來達成晶體等直徑生長的效果，過程中也針對溫度參數以及晶體轉速上對於晶體生長的影響作系統的整理及改善，並且成功地生長出等直徑且品質佳的鈮酸鋰晶體，並以此套系統生長出摻雜RuO2及MgO的鈮酸鋰單晶。
顯示於類別:	[機械工程研究所] 博碩士論文

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