點繞射移相干涉儀之研究; The Study of Point Diffraction Phase Shifting Interferometer

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题名:	點繞射移相干涉儀之研究;The Study of Point Diffraction Phase Shifting Interferometer
作者:	張明文;萬德深
贡献者:	光電科學研究中心
关键词:	光學檢驗;點繞射干涉儀;Optical test;Point diffraction interferometer;物理類
日期:	1994-07-01
上传时间:	2010-05-14 16:55:22 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	點繞射干射儀PDI(Point-diffraction interferometer), 為Fritz Zernike於1934年提出.藉調變待測波之空間頻譜,使得系統成像面上光強度正比於被測波之相位變化,因此才得以量測透明微生物厚度, 其後,有人在理論上加以充實,並應用於光學系統的實際量測,此種檢測的特點在於構造簡單, 不需要參考面,並有達到百分之一波長的靈敏度;但作調變之Zernike板會因檢測不同的對象有不同的最佳參數,調整上非常不方便,而且對於十分之一波長以上的像差,e/sup i.phi./不能以1+i .phi.作近似,導致光強度與相位變化之間不再維持線性關係,進而失去量測功能.同時,於1972年 R.N.Smartt所提類似的PDI測試,也因先天具有傾斜像差,影響對小像差的檢測能力.本研究計畫的主要目的,即是利用特殊的光學元件Shack Cube來架構新的檢測方式,不僅避免傳統PDI測試的所有缺點,更可引入移相(Phase-Shifting)技術以提昇量測的精確度.此外,本計畫也將比較此新架構與其它干涉儀的量測結果,用以驗證其準確度及可靠性.本計畫不僅是要研究理論與製作檢驗用的干涉儀,而是要研究理論與製作較前述的兩種PDI更佳的全新PDI. 研究期間：8208 ~ 8307
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[光電科學研究中心] 研究計畫

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