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化學工程與材料工程研究所
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Item 987654321/25032
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題名:
熱解後稻殼氮化反應動力學之研究
;
Kinetic Studies on the Nitridation of Pyrolyzed Rice Husk
作者:
張奉文
貢獻者:
化學工程與材料工程研究所
關鍵詞:
熱解後稻殼
;
氮化
;
動力學
;
氮化矽
;
Pyrolyzed rice husk
;
Nitridation
;
Kinetics
;
Silicon nitride
;
化學工程類
日期:
1994-07-01
上傳時間:
2010-05-27 15:43:13 (UTC+8)
出版者:
行政院國家科學委員會
摘要:
氮化矽(Silicon nitride, Si/sub 3/N/sub 4/)能廣泛 地應用於電子工業,精密工業用之研磨材之半 導體用的製造器具等.近幾年來已成為世界各 主要先進國家競相研究及開發的對象.故氮化 矽的製造是非常值得國人努力及研究的目標. 稻殼為一富含二氧化矽成分的農業廢棄物,因 此對於氮化矽的製備已成為引人注目及具潛力 的原料.本研究擬以熱重分析(TGA),進行熱解後 稻殼在氮氣存在下氮化生成氮化矽之反應動力 學研究.所欲探討的主要內容有:(1)進行熱解後 稻殼之氮化反應實驗,探討之主要影響反應因 素有-氣體流率,顆粒大小,造粒壓力,粉粒大小, 氣體濃度及反應溫度等;(2)進行各項物性測試,如:比表面積,孔隙度,成分測定及表面結構等; (3)進行動力學分析,求得反應級數,反應速率常 數及活化能等;(4)建立動力學模式.本研究預期 的成果為:(1)提供熱解後稻殼氮化反應之可能 最佳操作條件;(2)經由反應條件及動力學的探 討,可達到學術研究的目的;(3)所得之成果可提 升國內稻殼廢棄物之利用價值;(4)氮化矽的開 發成功,將有助於我國在精密化學品科技方面 之提升. 研究期間:8208 ~ 8307
關聯:
財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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[化學工程與材料工程研究所] 研究計畫
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