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    題名: 微粒與非連續薄膜介電起伏研究;Dielectric Fluctuations of Fine Particles and Discontinuous Thin Film
    作者: 伊林
    貢獻者: 物理學系
    關鍵詞: 超薄膜;超微粒;橢圓儀觀測;掃描穿隧式顯微鏡;微刻術;Ultra-thin film;Ultra-fine particle;Ellipsometer;物理類
    日期: 1994-03-01
    上傳時間: 2010-05-27 17:30:17 (UTC+8)
    出版者: 行政院國家科學委員會
    摘要: 本計畫為本實驗室所進行系列超薄膜與微 粒(~ 10nm)等微小尺度體系製造與特性研究之一, 前數期計畫中已成功發展電漿化學沈積系統與 雷射蒸射系統可製造超薄膜與微粒,並發現超 薄膜(<50A)或微粒在基材上對橢圓偏振儀信號造 成隨時間之大振幅不規則變化,本期計畫中將 對此現象進行深入調查.研究將以實驗方式於 本室所發展之RF磁控電漿系統中進行,並配合雷 射蒸射法產生SnO/sub 2/或金屬微粒或薄膜,利用 自製之單頻橢圓儀為主進行即時量測,並以處 理非線性混沌體系信號之標準方法,處理分析 量測之信號,以AFM/STM或SEM觀測薄膜或微粒之形 態結構.研究期間：8204 ~ 8303
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[物理學系] 研究計畫

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