金屬-半導體-金屬紅外線偵測器之研製; The Fabrication of MSM IR Detectors

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Title:	金屬-半導體-金屬紅外線偵測器之研製;The Fabrication of MSM IR Detectors
Authors:	綦振瀛;洪志旺
Contributors:	電機工程學系
Keywords:	金屬-半導體-金屬偵測器;分子束磊晶;有機金屬化學氣相沈積;紅外線偵測器;MSM;MBE;MOCVD;IR detector;光電工程
Date:	1993-07-01
Issue Date:	2010-05-28 10:25:55 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	本計畫之主要目標是發展金屬-半導體-金屬紅外線光偵測器以應用於光纖通訊系統.研究方式將以理論與實驗相輔進行.理論方面將包括元件結構之設計,模擬及最佳化.經由元件的性能,吾人可找出元件結構的各項參數與元件特性的關係. 在實驗方面,研究的內容包括磊晶成長,元件製程及特性測量分析等技術之開發.磊晶將以本校之分子束磊晶系統及電信研究所之有機金屬化學氣相沈積系統依材料需要配合進行.所製作的元件將包含GaAs(0.8□m)及InP(1.55□m)兩個系統.我們將利用本計畫所得之成果,包括理論上及實驗上的,應用於光積體電路的設計與製作.研究期間：8108 ~ 8207
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering] Research Project

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