熱力微照射製作絕緣層矽晶材料之研究; The Research of Thermal-Microwave SOI Materials technology

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Title:	熱力微照射製作絕緣層矽晶材料之研究;The Research of Thermal-Microwave SOI Materials technology
Authors:	鄭仁廸;Jen-Ti Cheng
Contributors:	機械工程研究所
Keywords:	絕緣層矽晶;氫氣離子佈植;晶圓鍵合;微波能照射;wafer bonding;Silicon On Insulator(SOI);hydrogen implantation;microwave irradiation
Date:	2005-06-27
Issue Date:	2009-09-21 11:50:03 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	在半導體製程進入了次微米的時代，使用一般矽塊材(bulk Si)結構製作更高效能之元件已面臨挑戰與貧頸。而絕緣層矽晶(Silicon On Insulator, SOI)特殊的結構將可提供一個更好的方向克服元件微小化所遇到之問題。有鑑於此，本文首章介紹絕緣層矽晶之各項性質、製程與應用。第二章概述以離子佈植方式轉移薄膜之機制。第三章探討使用微波能激發之原理並如何運用於絕緣層矽晶上。第四章介紹一套全新薄膜轉移方式-熱力微波製程，期望在低溫快速地情況下獲得大尺寸面積SOI材料。實驗結果發現，經電漿活化鍵合後，使用熱力微波製程確實成功將八吋薄膜轉移，獲得完整絕緣層矽晶材料。而由AFM與TEM影像觀察，其表面及橫截面之特性皆可適用於目前半導體製程。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Mechanical Engineering] Electronic Thesis & Dissertation

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