Treatment of chemical mechanical polishing wastewater for water reuse by ultrafiltration and reverse osmosis separation

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题名:	Treatment of chemical mechanical polishing wastewater for water reuse by ultrafiltration and reverse osmosis separation
作者:	Juang,Lain-Chuen;Tseng,Dyi-Hwa;Lin,He-Yin;Lee,Chung-Kung;Liang,Teh-Ming
贡献者:	環境工程研究所
关键词:	MEMBRANE FILTRATION;PRETREATMENT;SILICA;MICROFILTRATION;PARTICLES;EFFLUENT;RO;UF
日期:	2008
上传时间:	2010-07-06 16:09:43 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	This paper describes the treatment of chemical mechanical polishing (CMP) wastewater from a semiconductor plant through membrane-based ultrafiltration (UF) and reverse osmosis (RO) processes to improve the removal efficiency under different water recovery
關聯:	ENVIRONMENTAL ENGINEERING SCIENCE????
显示于类别:	[環境工程研究所 ] 期刊論文

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