Evaluation of four kinds of nonthermal plasma reactor for abatement of perfluorocompounds

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题名:	Evaluation of four kinds of nonthermal plasma reactor for abatement of perfluorocompounds
作者:	Lee,HM;Chang,MB;Chen,CW
贡献者:	環境工程研究所
关键词:	BARRIER DISCHARGE REACTOR;EMISSIONS;DECOMPOSITION;C2F6;REMOVAL;GASES;CF4;PERFLUOROCARBONS;ENVIRONMENT;REDUCTION
日期:	2005
上传时间:	2010-07-06 16:11:29 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Perfluorocompounds (PFCs) are widely used in the semiconductor manufacturing industry as etching gases and chamber cleaning gases. However, PFCs intensely absorb infrared radiation and aggravates global warming consequently. This study applies nonthermal
關聯:	JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES
显示于类别:	[環境工程研究所 ] 期刊論文

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