Investigation of LiNbO3 thin films grown on Si substrate using magnetron sputter

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題名:	Investigation of LiNbO3 thin films grown on Si substrate using magnetron sputter
作者:	Lee,Tsung-Hsin;Hwang,Fu-Tsai;Lee,Ching-Ting;Lee,Hsin-Ying
貢獻者:	光電科學與工程學系
關鍵詞:	LITHIUM-NIOBATE;DEPOSITION
日期:	2007
上傳時間:	2010-07-07 14:08:32 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	A RF magnetron sputter system was used to deposit lithium niobate (LiNbO3) thin films on (111)-oriented Si substrates. An optimal sputtering condition with RF power of 100 W, Ar/O-2 ratio of 1 and substrate temperature of 575 degrees C was investigated. T
關聯:	MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY
顯示於類別:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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