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    题名: Si-based guided-mode resonance filter on a micro-optical bench
    作者: Wang,CM;Chang,JY;Hsu,CL;Lee,CC;Yang,JC
    贡献者: 光電科學與工程學系
    关键词: 2-DIMENSIONAL GRATINGS;DIFFRACTION
    日期: 2004
    上传时间: 2010-07-07 14:13:36 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: An out-of-plane guided-mode resonance filter on a single Si chip using a two-layer polysilicon surface micromachining process has been proposed. To the best of the authors' knowledge, this is the first time that a monolithic optical filter has been integr
    關聯: ELECTRONICS LETTERS
    显示于类别:[光電科學與工程學系] 期刊論文

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