Si-based guided-mode resonance filter on a micro-optical bench

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题名:	Si-based guided-mode resonance filter on a micro-optical bench
作者:	Wang,CM;Chang,JY;Hsu,CL;Lee,CC;Yang,JC
贡献者:	光電科學與工程學系
关键词:	2-DIMENSIONAL GRATINGS;DIFFRACTION
日期:	2004
上传时间:	2010-07-07 14:13:36 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	An out-of-plane guided-mode resonance filter on a single Si chip using a two-layer polysilicon surface micromachining process has been proposed. To the best of the authors' knowledge, this is the first time that a monolithic optical filter has been integr
關聯:	ELECTRONICS LETTERS
显示于类别:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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