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    题名: Differential wavelength-scanning heterodyne interferometer for measuring large step height
    作者: Lu,SH;Chiueh,CI;Lee,CC
    贡献者: 光電科學與工程學系
    关键词: DISTANCE MEASUREMENT;REFRACTIVE-INDEX;LASER;AIR
    日期: 2002
    上传时间: 2010-07-07 14:17:54 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: An interferometer based on the differential heterodyne configuration and wavelength-scanning interferometry for measuring large step heights is presented. The proposed interferometer is less sensitive to environmental disturbances than other interferomete
    關聯: APPLIED OPTICS
    显示于类别:[光電科學與工程學系] 期刊論文

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