Multilayer coatings monitoring using admittance diagram

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题名:	Multilayer coatings monitoring using admittance diagram
作者:	Lee,Cheng-Chung;Chen,Yu-Jen
贡献者:	薄膜技術研究中心
关键词:	OPTICAL COATINGS;ELLIPSOMETRY;FILTERS
日期:	2008
上传时间:	2010-07-07 15:47:11 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	A method based on admittance diagram called Admittance Realtime Monitoring, ARM, was proposed to monitor multilayer coatings. This optical monitoring method is highly sensitive and capable to compensate for thickness errors. The sensitivities of ARM were
關聯:	OPTICS EXPRESS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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