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    題名: In situ sensitive optical monitoring with proper error compensation
    作者: Lee,Cheng-Chung;Wu,Kai
    貢獻者: 薄膜技術研究中心
    關鍵詞: FILTERS
    日期: 2007
    上傳時間: 2010-07-07 15:47:20 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: We introduce a way to estimate the fluctuation of the refractive index during thin film deposition, through an optical monitor. The thicknesses and error-compensated thickness for each layer are analyzed. A novel monitoring method is thereby derived. The
    關聯: OPTICS LETTERS
    顯示於類別:[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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