In situ sensitive optical monitoring with proper error compensation

NCU Institutional Repository > 研究中心 > 薄膜技術研究中心 > 期刊論文 > Item 987654321/35661

jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/35661

题名:	In situ sensitive optical monitoring with proper error compensation
作者:	Lee,Cheng-Chung;Wu,Kai
贡献者:	薄膜技術研究中心
关键词:	FILTERS
日期:	2007
上传时间:	2010-07-07 15:47:20 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	We introduce a way to estimate the fluctuation of the refractive index during thin film deposition, through an optical monitor. The thicknesses and error-compensated thickness for each layer are analyzed. A novel monitoring method is thereby derived. The
關聯:	OPTICS LETTERS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

文件中的档案:

档案	描述	大小	格式	浏览次数
index.html		0Kb	HTML	1333	检视/开启

在NCUIR中所有的数据项都受到原著作权保护.

社群 sharing