Optical monitoring and real time admittance loci calculation through polarization interferometer

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题名:	Optical monitoring and real time admittance loci calculation through polarization interferometer
作者:	Lee,Cheng-Chung;Wu,Kai;Chen,Sheng-Hui;Ma,Sheng-Ju
贡献者:	薄膜技術研究中心
关键词:	COATINGS
日期:	2007
上传时间:	2010-07-07 15:47:22 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	A simple, low coherence, vibration insensitive, polarization Fizeau interferometer is employed in this novel optical monitoring system proposed to extract the temporal phase change of the reflection coefficient of the growing film stacks. This system can
關聯:	OPTICS EXPRESS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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