Investigation of thermal annealing of optical properties and residual stress of ion-beam-assisted TiO2 thin films with different substrate temperatures

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題名:	Investigation of thermal annealing of optical properties and residual stress of ion-beam-assisted TiO2 thin films with different substrate temperatures
作者:	Cheng-Chung Lee,Hsi-Chao Chen,Cheng-Chung Jaing
貢獻者:	薄膜技術研究中心
關鍵詞:	PHASE-SHIFTING INTERFEROMETRY;TITANIUM-OXIDE FILMS;EVAPORATION;DEPOSITION
日期:	2006
上傳時間:	2010-07-07 15:47:39 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Titanium oxide films were prepared by ion-beam-assisted deposition on glass substrates at various substrate temperatures. The effect of the temperature of thermal annealing from 100 degrees C to 300 degrees C on the optical properties and residual stress
關聯:	APPLIED OPTICS
顯示於類別:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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