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    題名: Rugate filter made with composite thin films by ion-beam sputtering
    作者: Lee Cheng-Chung,Tang Chien-Jen,Wu Jean-Yee
    貢獻者: 薄膜技術研究中心
    關鍵詞: TIO2-SIO2 MIXED FILMS;STRUCTURAL-PROPERTIES;ASSISTED DEPOSITION;OPTICAL-CONSTANTS;OXIDE-FILMS;COEVAPORATION;COATINGS;STRESS;LAYERS
    日期: 2006
    上傳時間: 2010-07-07 15:47:46 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: Composite films of Ta-Si oxide with refractive indices that varied from 1.48 to 2.15 were realized by using rf ion-beam sputtering. All the composite films were amorphous and had a surface roughness of less than 0.3 nm. The inhomogeneity of the composite
    關聯: APPLIED OPTICS
    顯示於類別:[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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