English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文筆數/總筆數 : 78728/78728 (100%)
造訪人次 : 33538474      線上人數 : 671
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜尋範圍 查詢小技巧:
  • 您可在西文檢索詞彙前後加上"雙引號",以獲取較精準的檢索結果
  • 若欲以作者姓名搜尋,建議至進階搜尋限定作者欄位,可獲得較完整資料
  • 進階搜尋


    請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/3947


    題名: 高熱穩定性的鎳/銀鋁合金薄膜應用在 p型氮化鎵之歐姆接觸;High thermally stable Ni/Ag(Al) alloy contact on p-GaN
    作者: 周佳賢;Chia-Hsien Chou
    貢獻者: 化學工程與材料工程研究所
    關鍵詞: p型氮化鎵;歐姆接觸;p-type GaN;ohmic contact
    日期: 2006-06-23
    上傳時間: 2009-09-21 12:26:44 (UTC+8)
    出版者: 國立中央大學圖書館
    摘要: 關於Ni/Ag 應用於p型氮化鎵的歐姆接觸(ohmic contact),其電性及光性的表現已經有被廣泛地研究。本篇論文研究主要在於銀裡面添加一點點鋁成為合金去抑制銀在p型氮化鎵表面聚集,提昇歐姆接觸的熱穩定性。 我們發現Ni/Ag歐姆接觸在500 oC熱處理後,氮化鎵表面上有島狀的銀聚集(silver agglomeration)形成。銀聚集(silver agglomeration)的結果導致特徵接觸電阻(specific contact resistance)上升及反射率下降。為了改善此一情況,我們預先將銀和鋁製作成一銀合金靶材來製作電極,其中鋁的組成為10 at.%。接著利用TLM (transmission line method)量測特徵接觸電阻其值為2.25 × 10-2 Ω-cm2,在500 oC長時間下發現銀鋁合金的特徵接觸電阻較純銀穩定。另外用四眼探針法(four-point probe method)量測片電阻(sheet resistance)亦發現銀鋁合金較純銀穩定,在400 oC ~ 700 oC的溫度條件下。而且在500 oC下為87 % @ 460nm之高反射率。因此我們提出Ni/Ag(Al)的結構可以有效抑制銀的聚集,提升歐姆接觸的熱穩定性,並且同時擁有高反射率的特性。 The thermal stability of Ni/Ag and Ni/Ag(Al) p-GaN contacts in relation to their electrical and optical properties was investigated. Ag agglomeration was found to occur at Ni/Ag to p-GaN contacts after annealing at 500 oC. This Ag agglomeration led to the poor thermal stability showed by the Ni/Ag contacts in relation to the reflectivity and electrical properties. However, after alloying with 10 at.% Al, the Ni/Ag(Al) p-GaN contacts were found to be free of Ag agglomeration thereby greatly enhancing the thermal stability. The values of the specific contact resistance and relative reflectance of the Ni/Ag(Al)samples was 2.25×10-2 Ω-cm2 and > 87%, at 460 nm after annealing at up to 600 oC .
    顯示於類別:[化學工程與材料工程研究所] 博碩士論文

    文件中的檔案:

    檔案 大小格式瀏覽次數


    在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

    社群 sharing

    ::: Copyright National Central University. | 國立中央大學圖書館版權所有 | 收藏本站 | 設為首頁 | 最佳瀏覽畫面: 1024*768 | 建站日期:8-24-2009 :::
    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 隱私權政策聲明