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    题名: 大尺寸晶圓旋塗液膜不穩定研究;Fingering Instability during Spin coating for Large Wafers
    作者: 周復初
    贡献者: 機械工程學系
    关键词: 機械工程類
    日期: 2001-07-01
    上传时间: 2010-11-03 10:38:24 (UTC+8)
    出版者: 行政院國家科學委員會
    摘要: 研究領域:8908 ~ 9007
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    显示于类别:[機械工程學系] 研究計畫

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