次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫二---玻璃基板壓電/超音波塗佈子系統設計開發; Subproject 2---Design and Development of Piezo/Ultrasonic Coater on TFT-LCD Glass Substrates

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Title:	次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫二---玻璃基板壓電/超音波塗佈子系統設計開發;Subproject 2---Design and Development of Piezo/Ultrasonic Coater on TFT-LCD Glass Substrates
Authors:	潘敏俊
Contributors:	機械工程學系
Keywords:	薄膜電晶體液晶顯示器;濾光片;壓電式塗佈;超音波塗佈;塗佈設備;光電工程;電子電機工程類
Date:	2005-07-01
Issue Date:	2010-11-30 15:14:29 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	本子計畫之執行，即在探討及發展壓電/超音波塗佈技術，並設計製作塗佈頭及相關供料子系統，以達到大型玻璃基板有效穩定的濾光片製作。此一次世代壓電/超音波塗佈頭及供料系統的主要元件及發展技術包括： 1. 壓電/超音波微孔塗佈頭－改變縫模塗佈機制之機械式壓出方式，以陣列式微孔取代條狀模縫，設計為超音波微孔噴出機制。研究中將先依循壓電噴墨原理進行壓電塗佈研究，並累積適當經驗；而超音波微孔塗佈則是將壓電材料震盪至其共振頻率以產生超音波，微孔噴嘴輪廓為拋物線形狀，並將微孔開口置於焦點，如此帶靜電微粒之濾光液噴出後可彙集於開口處，而後再藉一偏壓射出至玻璃基板上。此塗佈頭另需考慮的功能尚有： .. 塗佈頭/基板測距回授裝置－塗佈微孔開口與玻璃基板間應維持特定距離，顧需作監測。距離大小依濾光點(color pixel)大小、及塗佈頭與基板座偏壓大小而定。 .. 濾光液防固化裝置－用以防止塗佈頭陣列微孔因濾光液固化阻塞。此外，另配合其他子計畫所發展的線上影像檢測系統，若發生塗佈缺陷，即能立即清洗並重新再行塗佈，避免無謂的後續製程。 2. 塗佈液儲存輸送裝置－用以穩定供應塗料予塗佈頭。在輸送系統的應用類型上，視塗料種類而定，要求的性能為： .. 可以在幾乎無脈動之狀況連續輸送 .. 由水狀液體到高黏度液體皆能定量輸送 .. 吐出量可信賴度高，吐出精準度誤差在± 1%以內 .. 無須使用閥之構造設計，以免產生阻塞 .. 能順暢運轉輸送且無振動與噪音 .. 拆裝保養力求簡單另外塗料輸送時需避免受到雜質的污染及氣泡的產生，以防止塗佈加工上的缺陷發生，以確保塗佈品質。研究期間：9308 ~ 9407
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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