旋轉塗佈手指狀不穩定之控制; Controlling of Fingering Instability during Spin Coating

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題名:	旋轉塗佈手指狀不穩定之控制;Controlling of Fingering Instability during Spin Coating
作者:	周復初
貢獻者:	機械工程學系
關鍵詞:	機械工程類
日期:	2006-07-01
上傳時間:	2010-12-06 15:09:07 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	在液體旋轉塗佈的過程中，因為離心力的作用，使得不穩定手指狀一定會在連續薄膜波前處產生，由於流體會先選擇經由突出的不穩定手指狀向外擴張，因而導致連續薄膜擴張速度減緩，甚至停滯不前。目前，旋轉塗佈已被廣泛運用在半導體工業薄膜製程上，如光阻液在晶圓表面的塗佈，但是不穩定手指狀的存在，使得液體在晶圓表面的最大塗佈面積受到限制。但隨著半導體工業的發展，晶圓尺寸也隨之不斷增大，傳統應用於小尺寸晶圓的旋轉塗佈方式，已無法將大尺寸晶圓完全塗滿，成為半導體製程上急需突破的瓶頸。本計畫針對旋轉塗佈過程中不穩定手指狀流，研發新式塗佈方法。藉由在晶圓轉盤內部配置超音波震盪器，藉此觀察經由超音波震盪影響連續薄膜波前發展現象，以達到抑制不穩定手指狀流的發生，進而達到最大塗佈臨界半徑以及光阻減量的效果。此外，更進一步的針對不穩定手指狀流的發展加以控制，以達到最佳化的效果。研究期間：9408 ~ 9507
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[機械工程學系] 研究計畫

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