摻雜過渡元素之AZO薄膜製作、微結構分析及其腐蝕特性研究-摻雜過渡元素於透明導電AZO薄膜後之腐蝕特性研究; Corrosion Characteristics of the AZO Thin Films Doped with Transition Elements

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題名:	摻雜過渡元素之AZO薄膜製作、微結構分析及其腐蝕特性研究-摻雜過渡元素於透明導電AZO薄膜後之腐蝕特性研究;Corrosion Characteristics of the AZO Thin Films Doped with Transition Elements
作者:	林景崎
貢獻者:	機械工程學系
關鍵詞:	材料科技
日期:	2006-07-01
上傳時間:	2010-12-06 15:09:52 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	本計劃之主旨在探討AZO(Aluminum doped zinc oxide)薄膜在腐蝕環境中的電化學行為，進而開發AZO 薄膜的電解拋光技術。研究方法首先利用電化學分析法(動態極化法、循環極化法) 研究AZO 薄膜的腐蝕特性，並且探討摻雜過渡元素對於AZO 薄膜的腐蝕影響。其次依據薄膜腐蝕特性，開發適用於AZO 薄膜的電解拋光配方，適當調整拋光液之pH 值以及摻雜劑、鈍化劑及黏滯劑所含比例，並選擇溶液溫度、反應電位、電場強度、電解液攪拌速率等操作參數，求出電解拋光之最佳條件。 AZO 薄膜經電解拋光前後，其導電性、透光性、微結構及表面元素深入分析，以確定適合拋光較易拋光及拋光效果較佳之AZO 薄膜組成、結構、特性，藉此瞭解AZO 薄膜腐蝕特性與有效電解拋光之關聯性，所得相關訊息，與其他個子計畫交流分享，並經不斷討論逐漸改善製程條件，製作出最佳品質之AZO 膜薄，預期研究結果能對於目前光電產業所亟需之技術有所貢獻。研究期間：9408 ~ 9507
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[機械工程學系] 研究計畫

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