本論文旨在運用ANSYS對壓電式無閥門微幫浦進行流固耦合分析，進一步能設計出高流量之結構。在模擬中，藉由指令(command)輸入壓電片各種材料係數與暫態下條件，以此模擬壓電片實際做動情形，取代早期以曲線擬合後所得之數學式再做為流體計算時的邊界方法，使結果更接近實際情況。且在計算過程中，將流體壓力列入薄膜所受外力之一，以此達到雙向流固耦合。文中討論且比較各式流量計算方法，並改變各式參數，如操作電壓、頻率、薄膜厚度與壓電片厚度等，探討腔體壓力、淨流量、回流量比例等影響。經由本文模擬得到操作電壓、壓電片厚度均受到壓電片材料係數限制；而頻率過高時雖能有效提高淨流量，但需注意結構中的薄膜是否在所能承受應力範圍內；當薄膜厚度越薄時，在淨流量能有效提高而回流量比例也能降低許多。The thesis presents the fluid-structure coupling analysis of a piezoelectric valveless micropump. In the simulation, a method called “command” in ANSYS is used for giving inputs of coefficients of the piezoelectricity and conditions of transient computation. The method can provide more actual numerical results for this piezoelectric driving system. In the research, the effects on the netflow of varying four parameters, voltage, frequency, membrane thickness, and piezoelectric thickness, are addressed.
