膠液-凝膠法製備光學薄膜

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题名:	膠液-凝膠法製備光學薄膜
作者:	蔣孝澈
贡献者:	中央大學化學工程學系
关键词:	材料科技;膠液-凝膠法;光學薄膜;雙氧化物膜(TiO/sub2/-B/sub2/O/sub3/;TiO/sub2/-SrO;TiO/sub2/-Bao);旋轉鍍膜;光電性質;Sol-gel method;Optical coating;Binary oxide films(TiO/sub 2 /-B/sub2/O3;TiO2-SrO;TiO2-Bao);Optical properties;Spincoating;Electro-optical effect
日期:	1993-09-01
上传时间:	2012-10-01 11:11:04 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	本研究擬利用膠液-凝膠法(Sol-gel Method)製備光學薄膜,並研究其製程變數對光學薄膜性質之影響.研究之系統以TiO/sub2/-B/sub 2/O/sub 3/系統為主, 並輔以研究TiO/sub 2/-SrO及TiO/sub2/-Bao系統,以比較其間之性質差異.製備TiO/sub 2/-B/sub 2/O/sub 3/系統之薄膜,本實驗室已有初步之研究結果,並已發表.其結果顯示,當在 TiO/sub 2/系統中添加B/sub 2/O/sub 3/將可增進在低波長區之穿透性質,但所製備之薄膜厚度仍小於 200nm.因此,計畫深入探討此系統,以研究製程變數對薄膜性質之影響,並利用自動控制之旋轉鍍膜( SpinCoating)之方法來控制鍍膜,以期能獲得均勻性佳,厚度夠(達1□m)之薄膜,進而研究薄膜之性質. ; 研究期間 8202 ~ 8301
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[化學工程與材料工程學系 ] 研究計畫

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