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    题名: 以相位偏移式橢圓儀測量薄膜光學常數之研究;The Research on the Measurement of the Optical Constants by Phase-shifting Ellipsometer
    作者: 李正中
    贡献者: 中央大學光電科學研究所
    关键词: 電子電機工程類;橢圓偏振光儀;相移技術;光電調變器;光學塗佈;Ellipsometer;Phase-shifting technique;Electro-optic modulator;Opticalcoatings
    日期: 1995-09-01
    上传时间: 2012-10-01 14:59:32 (UTC+8)
    出版者: 行政院國家科學委員會
    摘要: 本計畫首先以相位偏移技術,設計研製一套 橢圓旋光儀,其次再利用所研製的橢圓旋光儀, 測量各種半導體及光學薄膜材料,以了解其光 學性質,並驗證相位偏極式橢圓旋光儀的功能. 以氦氖雷射為光源,方解石稜鏡線偏極器分別 作為極化入射光的線偏極器,及分析經由待測 物反射之反射光的分析器.以個人電腦控制數 位類比轉換器輸出電壓,經由線性放大器放大 後,調變電光調制器,以改變相位延遲量.經由類 比數位轉換器將偵測器之輸出信號數位化,輸 入電腦計算,得到橢圓參數.然後再以簡形優化 法,以疊代方式解出光學常數及厚度.製作各種 半導體及光學薄膜,以相位偏移式橢圓旋光儀測量所製作的各種薄膜光學特性,了解半導體 及光學薄膜材料的性質. ; 研究期間 8308 ~ 8407
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    显示于类别:[光電科學研究所] 研究計畫

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