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    Title: 微光學元件之製作與量測
    Authors: 羅德亨;De-He Lo
    Contributors: 光電科學研究所
    Keywords: 微光學;準分子雷射;LIGA-like
    Date: 2000-07-13
    Issue Date: 2009-09-22 10:24:38 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: LIGA技術起源於德國,可用已製造高精密度的微結構元件,目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。本論文之研究為利用LIGA-like製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作,方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射,透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩,經由物鏡以投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時,透過移動光罩之平台,選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微光學元件,最後進行其表面輪廓與光學特性兩部分測量。主要之貢獻在於利用Matlab軟體模擬所製作之微光學元件,並對各種元件之粗糙度加以計算及分析。如此將開拓微光學元件於一個全新的應用領域。 none
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