微小元件於LIGA LIKE製程上之研究

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Title:	微小元件於LIGA LIKE製程上之研究
Authors:	李東諺;Do-Yian Lee
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	LIGA 製程;準分子雷射;微機電系統;微渠道;生物晶片;LIGA Process;Excimer Laser;MEMS;MicroFludic;BioChip
Date:	2002-03-19
Issue Date:	2009-09-22 10:25:18 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	LIGA技術起源於德國，可用已製造高精密度的微結構元件，目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。本論文之研究為利用LIGA LIKE製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射，透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時，透過移動光罩之平台，選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微小元件。為了要改善LIGA LIKE製程所造成微元件表面的粗糙度，以符合我們所需要的標準，因此我們想了一種方式來改善我們所製作出來的微小元件表面粗糙度，我們在製作出來的元件上塗佈一層光阻，由於光阻為一黏稠性的液體，故可明顯改善表面的粗糙度，進而改善我們製作的微光學元件或任何利用LIGA LIKE製程所加工之後的元件表面的品質，進而應用至其他的相關製作流程上。本文另外由將這項方法利用到製作微小生物晶片檢測平台的製作上，利用塗佈光阻藉以改善表面粗糙度的方式，使得我們所做出來的微流道(Micro flow)能夠表面光滑，使得我們利用準分子雷射所切割之微小晶片能夠在微流道之中順利的流動，再經由我們所架設之基因檢測平台判別出各種不同的感染螢光基因，而完成一個精密且價格便宜的生物基因晶片檢測系統。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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