熔融法折射式微透鏡陣列之設計製造與檢測

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Title:	熔融法折射式微透鏡陣列之設計製造與檢測
Authors:	梁逸平;Yi-Ping Lian
Contributors:	光電科學研究所
Date:	2001-07-17
Issue Date:	2009-09-22 10:25:19 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	近年來，微光學已成為一熱門的研究領域。一般而言，光學元件大致上可分為繞射式與折射式兩種，本論文所研究之光阻熔融式微透鏡陣列，則是屬於折射式光學元件之一。論文主要在於說明如何設計、製造出一系列之微透鏡陣列，並以各種檢測之方法，檢驗其特性，以求能找出更佳的製作參數。實驗中製作出之微（凸）透鏡，其直徑大小在20 mm ~ 100 mm 之間，焦距約為20 mm ~ 300 mm 之間，數值孔徑則介於0.15 ~ 0.5 之間。在品質上大致良好，皆為表面平整度高之球面透鏡。實驗所得之成品主要的缺點在於其實用性，因為光阻不是一個好的光學材料。改進方法為利用活性離子蝕刻機，將其形狀轉換至性質穩定之基板上，以增進其效能。 none
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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