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    Title: 雷射輔助化學氣相沉積法成長氮氧化矽膜;Silicon Oxynitride Grown by Laser Assisted Chemical Vapor Deposition
    Authors: 李宗信;Tsung-Hsin Lee
    Contributors: 光電科學研究所
    Keywords: 雷射;化學氣相沉積;氮氧化矽;電漿;laser;CVD;Silicon Oxynitride;plasma
    Date: 2002-07-06
    Issue Date: 2009-09-22 10:26:30 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 本文以實驗室自行研發組裝的二氧化碳雷射,結合傳統電漿激發式化學氣相沉積系統(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, 簡稱PECVD),形成新式薄膜沉積系統,我們稱此種以雷射輔助的PECVD製程稱之為LAPECVD(Laser Assisted PECVD)。我們利用此系統在波導材料的研究上,以應用於各式光通訊元件之研發。 在本論中利用LAPECVD系統,引導二氧化碳雷射斜向到反應室中,照射在矽基板上,在低溫製程下(55oC),可製作出低傳輸損耗、表面平整度佳、良好的抗氧化性等性質的氮氧化矽(SiOxNy)膜,且藉由反應氣體矽烷(SiH4)與一氧化二氮(N2O,俗稱笑氣)比例上不同,可製作出所需的折射率之波導材料。
    Appears in Collections:[光電科學研究所] 博碩士論文

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