以微機電製程技術製作Fabry-Perot型濾光片Fabrication; of Fabry-Perot filters with MEMS technology

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题名:	以微機電製程技術製作Fabry-Perot型濾光片Fabrication;of Fabry-Perot filters with MEMS technology
作者:	商中道;Chang-Dau Sung
贡献者:	光電科學研究所
关键词:	法布理-柏羅濾光器;Fabry-Perot filters
日期:	2003-07-10
上传时间:	2009-09-22 10:27:25 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	在本論文中主要以可見光做為入射光源，利用玻璃做為基板，鍍上金屬膜做為高反射層與導電層後，反射率約可達，分別以空氣及液晶做為共振腔內的介質，利用電壓的加入改變液晶之折射率，使共振腔的光學厚度產生變化，以此特性做出可調式的Fabry-Perot型濾光片。另外我們利用體型細微加工的濕蝕刻技術，在矽晶圓上開出厚度、大小約的氮化矽薄膜做為透光區域，在氮化矽薄膜鍍上金屬膜做為高反射層與導電層，以空氣做為共振腔介質，將Fabry-Perot型濾光片微型化。而微型化的可調式Fabry-Perot型濾光則因為配向方式不佳，易造成膜堆損壞，因而未能完成。
显示于类别:	[光電科學研究所] 博碩士論文

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