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    Title: 平面光波導之折射式光學元件及系統之設計與檢測;Design and Measurement of Refractive Optical Element and System in Optical Waveguide
    Authors: 蔡昌恆;Chang-Heng Tsai
    Contributors: 光電科學研究所
    Keywords: 折射式元件;平面光波導;固態浸沒式透鏡;SIL;waveguide;ROEs
    Date: 2003-07-01
    Issue Date: 2009-09-22 10:27:49 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 以平面光波導為基底,在上面建構一個光學系統的優點有兩個:一. 透過半導體製程的方法,我們可以製作出許多在自由空間中不容易製作,甚至是做不出來的透鏡曲面。二. 光路的校準變的非常容易,每個元件在光罩的製作時就已經完全對準確了。本篇論文中,我們在可見光的波段內,以平面光波導為基底,建構了一套光學系統,其中包括了許多種的元件,例如折射式光學元件 ( ROEs )、分光鏡 ( Beamsplitter ) ,甚至是固態浸沒式透鏡 ( SIL )。 本文是以折射式的光學元件為主,在設計方面,我們先以光追跡( Ray tracing )的方法,使用電腦軟體ZEMAX,去找到各個透鏡的參數,再透過光束傳播法 ( Beam propagating method ),利用電腦軟體BeamPROP,實際模擬光束在波導內傳遞的情形。在製作方面,我們以Glass作為光波導層,氮化矽 ( SiNx )作為透鏡的材質,利用半導體製程的方法,將設計的系統製作出來。在檢測方面,我們將sample架置在光學桌上做量測,由於透鏡的曲率、形狀或孔徑大小之不同,從上視圖可以看出光會有準直化、聚焦及分光的效果;從sample末端量測,在SIL鏡組的系統中,聚焦點小於0.77 μm。
    Appears in Collections:[光電科學研究所] 博碩士論文

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