平面光波導之折射式光學元件及系統之設計與檢測; Design and Measurement of Refractive Optical Element and System in Optical Waveguide

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Title:	平面光波導之折射式光學元件及系統之設計與檢測;Design and Measurement of Refractive Optical Element and System in Optical Waveguide
Authors:	蔡昌恆;Chang-Heng Tsai
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	折射式元件;平面光波導;固態浸沒式透鏡;SIL;waveguide;ROEs
Date:	2003-07-01
Issue Date:	2009-09-22 10:27:49 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	以平面光波導為基底，在上面建構一個光學系統的優點有兩個：一. 透過半導體製程的方法，我們可以製作出許多在自由空間中不容易製作，甚至是做不出來的透鏡曲面。二. 光路的校準變的非常容易，每個元件在光罩的製作時就已經完全對準確了。本篇論文中，我們在可見光的波段內，以平面光波導為基底，建構了一套光學系統，其中包括了許多種的元件，例如折射式光學元件 ( ROEs )、分光鏡 ( Beamsplitter ) ，甚至是固態浸沒式透鏡 ( SIL )。本文是以折射式的光學元件為主，在設計方面，我們先以光追跡( Ray tracing )的方法，使用電腦軟體ZEMAX，去找到各個透鏡的參數，再透過光束傳播法 ( Beam propagating method )，利用電腦軟體BeamPROP，實際模擬光束在波導內傳遞的情形。在製作方面，我們以Glass作為光波導層，氮化矽 ( SiNx )作為透鏡的材質，利用半導體製程的方法，將設計的系統製作出來。在檢測方面，我們將sample架置在光學桌上做量測，由於透鏡的曲率、形狀或孔徑大小之不同，從上視圖可以看出光會有準直化、聚焦及分光的效果；從sample末端量測，在SIL鏡組的系統中，聚焦點小於0.77 μm。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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