中大機構典藏-NCU Institutional Repository-提供博碩士論文、考古題、期刊論文、研究計畫等下載:Item 987654321/6781
English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文笔数/总笔数 : 70585/70585 (100%)
造访人次 : 23038327      在线人数 : 313
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜寻范围 查询小技巧:
  • 您可在西文检索词汇前后加上"双引号",以获取较精准的检索结果
  • 若欲以作者姓名搜寻,建议至进阶搜寻限定作者字段,可获得较完整数据
  • 进阶搜寻


    jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/6781


    题名: 自由空間堆疊式微光學系統與光學讀取頭;Free Space Stacked Micro Optical System and Optical Pickup head
    作者: 柯育甫;Yu-Fu ke
    贡献者: 光電科學研究所
    关键词: 微光學系統;光學讀取頭;micro optical system;optical pickup head
    日期: 2004-07-02
    上传时间: 2009-09-22 10:28:19 (UTC+8)
    出版者: 國立中央大學圖書館
    摘要: 本論文利用現有半導體製程技術與微光機電製程技術,製作矽基堆疊式微光學元件,應用於微型化光學讀取頭,使其簡單化、微小化及積體化。本光學讀取頭包含650nm雷射二極體、45o反射面鏡、光柵、全像光學元件與Fresnel lens等,以自由空間堆疊方式整合各光學元件,以達到將光束聚焦於光碟片上,並產生接近繞射極限的聚焦點,同時以三光束法與像散法產生聚焦及循軌誤差訊號,由光偵檢器接收其光訊號。 在各光學元件的製程方面,自由空間矽基堆疊式光學元件是利用低壓化學氣相沉積(LPCVD)的方法,在單晶矽基板上沉積低應力氮化矽薄膜,利用感應耦合電漿蝕刻機(ICP) 以乾式蝕刻的方式,控制氮化矽蝕刻的輪廓和深度;並以氮化矽薄膜作為保護層,利用氫氧化鉀水溶液以濕式蝕刻單晶矽的方法製作光通道。本光學系統採用半導體製程技術製作,因此可以整批大量製造來降低製造成本,以表面微加工技術與體型微加工技術來縮小系統尺寸、減輕系統重量。
    显示于类别:[光電科學研究所] 博碩士論文

    文件中的档案:

    档案 大小格式浏览次数


    在NCUIR中所有的数据项都受到原著作权保护.

    社群 sharing

    ::: Copyright National Central University. | 國立中央大學圖書館版權所有 | 收藏本站 | 設為首頁 | 最佳瀏覽畫面: 1024*768 | 建站日期:8-24-2009 :::
    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 回馈  - 隱私權政策聲明