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    Title: 矽基材料共振波導光柵之濾波器;Si-based Guided Mode Resonance Filter
    Authors: 周昱宏;Yue-Hom Chou
    Contributors: 光電科學研究所
    Keywords: 矽基;波導光柵;濾波器;filter;GMR
    Date: 2005-07-06
    Issue Date: 2009-09-22 10:30:01 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 光學濾波器,雖然不易觀察到,但在光學領域中,卻是最重要的, 它可以篩選出想要之波長,或是摒除不要之波長,而在傳統製作之濾 波器,都是利用薄膜堆積產生之干涉所達到濾波之效果,但由於其為 多層薄膜堆疊,因此相對而言製程容忍度低。本論文利用了新形式的 方式產生濾波的效果,其主要是利用次波長光柵加上波導在其相位匹 配時,會產生之共振情形,因而使得其穿透頻譜具有篩選波長的能 力,達到濾波的效果。 現今的台灣,全世界半導體的重鎮,對於製作在矽基版上面的 元件非常得心應手,現階段的製成對於製作次波長的線寬來說也不是 問題,而且已經朝向幾十奈米的線寬邁進。因此,本文利用目前已經 發展成熟的半導體製程技術與微光機電系統 (Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems,MOEMS)製程技術來 製作矽基版波導模態共振濾波器。而且由於其製作在矽基版上,容易 和其他矽基元件整合,因此可以容易整合成SoC(System on a Chip)系統。
    Appears in Collections:[光電科學研究所] 博碩士論文

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