雙頻雷射共光程外差干涉橢圓儀; Two-frequency common-path optical heterodyne ellipsometry

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題名:	雙頻雷射共光程外差干涉橢圓儀;Two-frequency common-path optical heterodyne ellipsometry
作者:	鄭家麟;CHIA-LIN CHENG
貢獻者:	光電科學研究所
關鍵詞:	共光程;外差干涉;橢圓儀;common-path;optical heterodyne;ellipsometry
日期:	2005-11-26
上傳時間:	2009-09-22 10:30:12 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	利用線偏振光入射到介質表面，會造成反射光偏振態改變的特性所發展出的量測技術為橢圓偏振儀。本文主要發展出一種創新的雙頻率雷射共光程外差干涉橢圓儀，它在不需要轉動光學元件的條件下，利用電光調製器所產生的雙頻雷射光源之外差干涉訊號為時間起始零點，並連續測量經由介面反射後在四個特定時間點的外差干涉訊號強度，經由所推導的理論可計算出相對應的橢圓參數Ψ(PSI)和Δ(DELTA)，而可獲得SiO2/Si標準片薄膜的厚度值。最後由實驗結果可以驗證出本方法的理論推導是正確的。
顯示於類別:	[光電科學研究所] 博碩士論文

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