矽基平面式梯度折射率微透鏡於單模光纖收發器之研究

NCU Institutional Repository > 理學院 > 光電科學研究所 > 博碩士論文 > Item 987654321/6876

請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/6876

題名:	矽基平面式梯度折射率微透鏡於單模光纖收發器之研究
作者:	賴慶隆;Ching-Lung Lai
貢獻者:	光電科學研究所
關鍵詞:	平面式梯度折射率微透鏡;電漿輔助化學氣相沈積
日期:	2005-07-06
上傳時間:	2009-09-22 10:30:55 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	本論文提出了ㄧ種結合了微光學平台(micro optical bench，MOB)技術的新型光耦合器，稱之為平面式梯度折射率微透鏡(planar gradient-index micro lens)。我們利用現有半導體製程技術，製作矽基平面式微光學元件，應用於雷射二極體-光纖耦合模組，使其具有可批次製造、高對位精準度與高耦合效率之優點。在設計上，雷射二極體到單模光纖的耦合效率達44.23%。而在元件的製程上，藉由改變電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)的N2O/SiH4氣體流量比，成長具有梯度折射率變化的氮氧化矽膜，並利用先進氧化層蝕刻機(AOE)針對氮氧化矽材料進行深乾蝕刻。最後，我們量得雷射二極體到單模光纖耦合效率為5.1%。
顯示於類別:	[光電科學研究所] 博碩士論文

文件中的檔案:

檔案	大小	格式	瀏覽次數

在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

社群 sharing