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    Title: 平面光波導中之折射式元件與系統;Refractive elements and systems on planar waveguide
    Authors: 錢德豪;De-Haw Chien
    Contributors: 光電科學研究所碩士在職專班
    Keywords: 折射式元件;平面光波導;固態浸沒式透鏡;SIL;waveguide;ROEs
    Date: 2003-07-01
    Issue Date: 2009-09-22 10:50:15 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 論文摘要 本文為積體光學的應用之一,運用半導體製程技術,在以矽為基板,SiO2/Glass/Air為平面光波導 (Planar Waveguide) 的結構中,架設以折射式光學元件 (Refractive Optical Elements,ROEs) 為主的系統。 製程時我們先在矽基板上成長一層2μm厚的氧化矽作為緩衝層(Buffer Layer),再以1μm厚、高折射率 (n=2) 、高透光率的氮化矽作為系統元件之材料,最後再鋪上一層與元件相同厚度的玻璃材料,折射率為1.53,以SiO2/Glass/Air構成我們的平面波導結構。量測時,我們以He-Ne雷射 (λ=632nm) 透過單模光纖直接耦合入2mm寬的平面波導 (Planar Waveguide) 中的光學系統,由固態浸沒式系統 (Solid Immersion Lens,SIL) 得到小於 0.7μm的聚焦點;且由分光鏡 (Beam Splitter) 的作用,得到清晰的分光效果。 透過本文階段性的成果,我們證明折射式光學元件在平面波導中,是可行的。將來若以平面波導為光學平台、運用半導體製程技術製作,並結合折射式與繞射式光學元件組成系統,則大量快速製造高品質,多功能且輕、薄、短小的光學系統,將指日可待。
    Appears in Collections:[光電科學研究所碩士在職專班 ] 博碩士論文

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