平面光波導中之折射式元件與系統; Refractive elements and systems on planar waveguide

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題名:	平面光波導中之折射式元件與系統;Refractive elements and systems on planar waveguide
作者:	錢德豪;De-Haw Chien
貢獻者:	光電科學研究所碩士在職專班
關鍵詞:	折射式元件;平面光波導;固態浸沒式透鏡;SIL;waveguide;ROEs
日期:	2003-07-01
上傳時間:	2009-09-22 10:50:15 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	論文摘要本文為積體光學的應用之一，運用半導體製程技術，在以矽為基板，SiO2/Glass/Air為平面光波導 (Planar Waveguide) 的結構中，架設以折射式光學元件 (Refractive Optical Elements，ROEs) 為主的系統。製程時我們先在矽基板上成長一層2μm厚的氧化矽作為緩衝層(Buffer Layer)，再以1μm厚、高折射率 (n=2) 、高透光率的氮化矽作為系統元件之材料，最後再鋪上一層與元件相同厚度的玻璃材料，折射率為1.53，以SiO2/Glass/Air構成我們的平面波導結構。量測時，我們以He-Ne雷射 (λ=632nm) 透過單模光纖直接耦合入2mm寬的平面波導 (Planar Waveguide) 中的光學系統，由固態浸沒式系統 (Solid Immersion Lens，SIL) 得到小於 0.7μm的聚焦點；且由分光鏡 (Beam Splitter) 的作用，得到清晰的分光效果。透過本文階段性的成果，我們證明折射式光學元件在平面波導中，是可行的。將來若以平面波導為光學平台、運用半導體製程技術製作，並結合折射式與繞射式光學元件組成系統，則大量快速製造高品質，多功能且輕、薄、短小的光學系統，將指日可待。
顯示於類別:	[光電科學研究所碩士在職專班 ] 博碩士論文

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