矽材質之正本負感光二極體的製程與量測; The fabrication and characterization of Silicon PIN photodiode

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Title:	矽材質之正本負感光二極體的製程與量測;The fabrication and characterization of Silicon PIN photodiode
Authors:	潘俊成;JunCheng Pan
Contributors:	物理研究所
Keywords:	正本負;感光二極體;PIN;Photodiode
Date:	2000-06-23
Issue Date:	2009-09-22 10:51:52 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	近年來，科技的進步非常的驚人。就拿十幾年前的電腦設備來說好了，那時最好的個人PC電腦大概是Intel 386，而光碟機(CD-ROM)大概是只有一倍的速度。但在現在凡事講求效率的的時代，對電腦速度的要求也越來越高，而以前的單倍、倍速、六倍速……..的碟機已不敷使用了。光碟機的速度，主要取決於碟機馬達的轉速。但是，當光學讀取頭裡的光檢測器的感應不是如此靈敏的話，那馬達的轉速再快也是徒然。就DVD規格而言，一倍速DVD讀寫頭中的光檢測器的頻寬約為1MHz，當DVD倍速增加時，光檢測器的頻寬就要跟著倍速增加。譬如十倍速的DVD，其光檢測器的頻寬也要有10MHz。在本論文中，我們主要是針對這個讀寫頭裡的PIN感光二極體的基板材料（基板的電阻率）的選取，對製造完成後的元件，其特性的影響，如暗電流、光響應度、量子效率及反應速度等。大略可以從結果中看出，選取低阻值的wafer作為PIN感光二極體的基材，較為不妥當，在各方面的測試中都不設理想。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Physics] Electronic Thesis & Dissertation

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