繞射式元件之製程及特性分析; Fabrication and Analysis of Diffractive Optical Elements

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Title:	繞射式元件之製程及特性分析;Fabrication and Analysis of Diffractive Optical Elements
Authors:	簡伶鈺;Lin-Yu Jian
Contributors:	物理研究所
Date:	2001-07-12
Issue Date:	2009-09-22 10:53:19 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	積體化微光電系統㆗所使用之微透鏡分為繞射式與折射式兩種，這些微透鏡具有體積輕、重量小的特性，近年來已積極被研發使用在DVD 雷射讀寫頭等應用當㆗。　　本文將研究利用㆒般積體電路製程方式來製作繞射式微透鏡。另外，利用灰階光罩來製作微透鏡，以做未來灰階光罩的製程依據。本文採用之半導體製程方法包括微影技術及蝕刻。於元件製作完成後，用表面輪廓量測(Dektak)以及掃描式電子顯微鏡(SEM)來量測蝕刻後的形狀，並在利用杜曼-格林(Twyman-Green)干涉法以及雲紋 (moiré fringes) 干涉法來量測焦距。　　本文並進㆒步分析微透鏡在製作的過程㆗所引起的蝕刻誤差造成其光學特性的改變，計算元件在製作各步驟㆗誤差所容許的範圍，以為製程之誤差提供參考依據。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Physics] Electronic Thesis & Dissertation

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