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光電科學與工程學系
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Item 987654321/88698
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http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/88698
題名:
標準晶圓製程下之微共振腔整合設計
;
Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators
作者:
國立中央大學光電科學與工程學系
貢獻者:
國立中央大學光電科學與工程學系
關鍵詞:
微共振腔
;
製程整合
;
雷射耦合
;
波導設計
;
Microresonator
;
silicon photonics
;
process integration
;
laser coupling
;
waveguide design
日期:
2022-07-26
上傳時間:
2022-07-27 10:45:08 (UTC+8)
出版者:
科技部
摘要:
矽光子晶片已被廣泛應用於高速計算,高頻通訊以及晶片實驗感測上。利用現今成熟的金氧半導體製程,我們可以應用各種介電材料製作波導晶片,並達到小尺寸、低成本、快速大量生產、高良率的特性。本計畫將以矽光子晶片及半導體製程技術為基礎,建立更有彈性的製程方式以減少製程的困難度,同時達到高素質共振腔的要求。利用紫外光步進機做為曝光及圖案化波導之光源。配合優先蝕刻光纖凹槽的方式,預期可以降低過去製作光纖凹槽時的蝕刻複雜度,並和前端製程及光罩做結合,降低其成本。同時減少高應力沉積所造成的波導缺陷。第二部分將利用300~400 nm 單邊漸進奈米波導增加共振腔和波導之耦合程度。並討論氮化鎵波導之製程整合可行性。
關聯:
財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:
[光電科學與工程學系] 研究計畫
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