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    題名: 新型雙紐線AFM掃描軌跡之設計與控制;Design and Control of a Novel Lemniscate Afm Scanning Trajectory
    作者: 國立中央大學電機工程學系
    貢獻者: 國立中央大學電機工程學系
    關鍵詞: 原子力顯微鏡;新型雙紐線掃描軌跡;映射誤差;掃描器機構振動;進階控制器;Atomic Force microscopy;Novel Lemniscate Scanning trajectory;Mapping Error;Scanner Mechanism Vibration;Advanced Controller
    日期: 2022-07-26
    上傳時間: 2022-07-27 11:33:32 (UTC+8)
    出版者: 科技部
    摘要: 原子力顯微鏡(AFM)是一種奈米級的量測儀器，它已被廣泛應用於生物醫學、半導體產業與材料科學等領域，本研究計畫將針對AFM的掃描軌跡與控制方法加以改善，所提出之研究方法，與目前存在的技術相比具有其創新性，方法的使用預期可以有效地提高AFM掃描器的成像速度與精確度，在不需要改變AFM硬體架構下，皆可以應用。相信本研究計畫的執行，對於國內奈米量測技術的提升、控制研發人才的培育、以及國家生物醫學與高科技產業皆有不錯的實質助益。
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[電機工程學系] 研究計畫

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