新穎可撓曲金屬奈米粒子/多孔隙矽晶奈米線微型散熱元件之製備及其散熱性能分析;Fabrication of Novel Flexible Metal Nanoparticles/Porous Si Nanowires Micro-Heat Sinks and Their Heat Dissipation Properties

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題名:	新穎可撓曲金屬奈米粒子/多孔隙矽晶奈米線微型散熱元件之製備及其散熱性能分析;Fabrication of Novel Flexible Metal Nanoparticles/Porous Si Nanowires Micro-Heat Sinks and Their Heat Dissipation Properties
作者:	鄭紹良
貢獻者:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
關鍵詞:	可撓曲微型散熱器;金屬催化蝕刻;多孔隙矽晶奈米線;垂直轉附;無電鍍金屬奈米粒子;flexible micro-heat sink;metal-catalyzed etching;porous Si nanowire;vertical transfer;electroless metal nanoparticles
日期:	2023-07-17
上傳時間:	2023-07-18 13:49:53 (UTC+8)
出版者:	國家科學及技術委員會
摘要:	本計畫所研發新穎貴金屬催化橫向蝕刻矽晶結合垂直轉附技術，可提供學、研單位在其所需材質可撓曲軟板上快速製備各式準直排列矽基微奈米線陣列，有助加速對新元件結構之製程開發。本計畫所設計製備之各式新穎可撓曲且具高長寬比、高比表面積、高散熱效率之矽晶微型散熱元件及其製程技術，不僅可做微區散熱管理之基礎學術研究，未來在先進可撓曲矽基感測元件、穿戴式奈米電子元件等產業領域上，可預期也將具有很大的應用潛力。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[化學工程與材料工程學系 ] 研究計畫

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