應用於半導體製程氣體特性監控之智慧型波前感測技術開發;Smart Wavefront Sensing for Gas Measurement in Semiconductor Processing (I)

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题名:	應用於半導體製程氣體特性監控之智慧型波前感測技術開發;Smart Wavefront Sensing for Gas Measurement in Semiconductor Processing (I)
作者:	韋安琪;施至柔
贡献者:	國立中央大學能源工程研究所
关键词:	波前感測;氣體濃度檢測;氣體折射率檢測;半導體製程設備;Wavefront sensing;Gas density meter;Gas refractometer;Semiconductor process equipment
日期:	2023-07-17
上传时间:	2023-07-18 14:27:44 (UTC+8)
出版者:	國家科學及技術委員會
摘要:	本計畫係應用波前感測技術於半導體製程氣體濃度分佈量測。預計第一年利用氣體折射率變化對波前之效應發展穿透式二維陣列技術，以量測腔體內二維氣體折射率分布，及其二維氣體濃度分布；第二年則基於第一年之基礎發展反射式陣列技術，開發光源-感測器陣列(VCSEL-Sensor array) 搭配第一年開發的二維陣列，以獲取三維氣體折射率分佈及三維氣體濃度分佈。本技術之研發預期有助於國內半導體精準製程的發展。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[能源工程研究所 ] 研究計畫

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