二維至三維微波被動元件與射頻電路之設計與研製

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Title:	二維至三維微波被動元件與射頻電路之設計與研製
Authors:	簡仁傑;Ren-Jay Jen
Contributors:	電機工程研究所
Keywords:	三維電感;必v放大器;power amplifier;3-D inductor
Date:	2002-06-14
Issue Date:	2009-09-22 11:45:15 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	摘要本論文主要的研究方向在於由傳統改良式二維(Modify-2D)結構的微波被動元件和電路發展到立體的3-D 架構。在薄膜製程方面，我們以低介電係數材料(Low-k)苯並環丁烯(BCB)在半導體基板上製作M-2D螺旋型電感;在矽基板方面，我們藉由蝕刻基板減少矽基板本身能量的損耗，藉以提昇被動元件的品質因子(Q factor) 。在砷化稼基板上面，我們藉由量測自行製作的M-2D螺旋型電感，由所量測到的S 參數建立其電感的等效電路模型。運用此被動元件的等效電路模型加上NEC主動元件，我們設計並製作了一單級1.8GHz必v放大器，經由輸出必v，必v增益，三階交互調變失真截斷點的基本特性量測，分析電路特性並了解可應用領域及未來發展。為完成電路積體化及未來發展，我們應用現有的資源和製程技術，把原本M-2D電感發展為立體化之3-D電感。利用此立體架構，我們發展了高Q (quantity factor) 電感和三維的低通濾波器，並由本校無塵室製作出來，發現模擬值和量測值有相當的吻合度，可作為未來三維電路發展的基礎。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Electrical Engineering] Electronic Thesis & Dissertation

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