熱解後稻殼氮化反應動力學之研究; Kinetic Studies on the Nitridation of Pyrolyzed Rice Husk

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Title:	熱解後稻殼氮化反應動力學之研究;Kinetic Studies on the Nitridation of Pyrolyzed Rice Husk
Authors:	張奉文
Contributors:	化學工程與材料工程研究所
Keywords:	熱解後稻殼;氮化;動力學;氮化矽;Pyrolyzed rice husk;Nitridation;Kinetics;Silicon nitride;化學工程類
Date:	1994-07-01
Issue Date:	2010-05-27 15:43:13 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	氮化矽(Silicon nitride, Si/sub 3/N/sub 4/)能廣泛地應用於電子工業,精密工業用之研磨材之半導體用的製造器具等.近幾年來已成為世界各主要先進國家競相研究及開發的對象.故氮化矽的製造是非常值得國人努力及研究的目標. 稻殼為一富含二氧化矽成分的農業廢棄物,因此對於氮化矽的製備已成為引人注目及具潛力的原料.本研究擬以熱重分析(TGA),進行熱解後稻殼在氮氣存在下氮化生成氮化矽之反應動力學研究.所欲探討的主要內容有:(1)進行熱解後稻殼之氮化反應實驗,探討之主要影響反應因素有-氣體流率,顆粒大小,造粒壓力,粉粒大小, 氣體濃度及反應溫度等;(2)進行各項物性測試,如:比表面積,孔隙度,成分測定及表面結構等; (3)進行動力學分析,求得反應級數,反應速率常數及活化能等;(4)建立動力學模式.本研究預期的成果為:(1)提供熱解後稻殼氮化反應之可能最佳操作條件;(2)經由反應條件及動力學的探討,可達到學術研究的目的;(3)所得之成果可提升國內稻殼廢棄物之利用價值;(4)氮化矽的開發成功,將有助於我國在精密化學品科技方面之提升. 研究期間：8208 ~ 8307
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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